[实用新型]热电偶及反应炉

说明书

本实用新型公开了一种热电偶及反应炉。该热电偶包括测温组件、直管、弯管和连接组件。其中，测温组件包括测温段和弯折段，直管的一端封闭，另一端具有第一开口，测温段经第一开口延伸至直管内的预设安装位置；弯管的两端分别具有互通的第二开口和第三开口，弯折段经第二开口穿设于弯管内并从第三开口突出，第一开口和第二开口则通过连接组件连通，且直管通过连接组件固定于弯管。通过将直管和弯管通过连接组件密封连通且相对固定连接，并将测温组件穿设于直管和弯管中，既方便了特定形状的测温需求，且相比于传统的一体式L形热电偶，分体式的结构更易组装，也更易控制测温点在直管内的测温位置，进而能够准确地测量反应炉内特定位置的温度。

技术领域

本实用新型涉及测温技术领域，尤其涉及一种热电偶及反应炉。

背景技术

现有的CVD(Chemical Vapor Deposition，化学气相沉积)反应炉中，往往会安装一种L形热电偶，该L形热电偶能够测量反应炉中某个位置或某些位置的温度，且L形的形状也使得该热电偶能够方便地应用于立式炉等特定结构的反应炉中。

L形热电偶主要包括L形外壳和安装在L形外壳中的测温组件，L形的竖直端封闭，水平端的末端开设有安装口。在组装和生产这类L形热电偶时，需要将测温组件从安装口端放入，穿过L形的拐弯处，再安装至竖直端中。由于L形具有拐弯处，难以将测温组件穿过L形的拐弯处并准确安装在竖直端中的预设位置，导致测温精度较低，同时整个安装过程十分不方便，也导致了在维护、修理时，不易将测温组件取出。

实用新型内容

本实用新型的一个目的在于提出一种热电偶，既具有弯折的便于测温的形状结构，组装也较为简便，且具有较高的测温精度。

为实现上述技术效果，本实用新型的技术方案如下：

热电偶，包括：测温组件，所述测温组件包括测温段和弯折段；直管，所述直管的一端封闭，另一端具有第一开口，所述测温段从所述第一开口延伸至所述直管内的预设安装位置；弯管，所述弯管的两端分别具有第二开口和第三开口，所述第二开口和所述第三开口相互连通，所述弯折段经所述第二开口穿设于所述弯管内并从所述第三开口突出；连接组件，所述连接组件至少安装于所述第一开口处和所述第二开口处中的一处，所述第一开口和所述第二开口通过所述连接组件连通，且所述直管通过所述连接组件固定于所述弯管。

可选地，所述连接组件包括：螺纹套管，所述螺纹套管位于所述第一开口处和所述第二开口处中的一处，所述螺纹套管具有第一抵接面和内螺纹结构；压紧螺母，所述压紧螺母位于所述第一开口处和所述第二开口处中的另一处，所述压紧螺母具有第二抵接面和外螺纹结构，所述螺纹套管和所述压紧螺母通过所述内螺纹结构和所述外螺纹结构啮合连接；O形圈，所述O形圈位于所述第一开口处和所述第二开口处中的另一处，所述O形圈位于所述第一抵接面和所述第二抵接面之间，且所述O形圈被配置为，随着所述螺纹套管和所述压紧螺母啮合连接的长度增加，所述O形圈被所述第一抵接面和所述第二抵接面挤压并向内产生抱紧力。

可选地，所述螺纹套管安装于所述第二开口处，所述压紧螺母和所述O形圈套设于所述第一开口处。

可选地，所述螺纹套管一体成型于所述弯管的所述第二开口处。

可选地，所述第二抵接面与所述O形圈之间夹设有垫片。

可选地，所述压紧螺母的内侧设置有软质环。

可选地，所述测温段固连于所述直管的位于所述第一开口处的内壁。

可选地，所述测温组件包括若干绝缘隔热件，所述绝缘隔热件具有至少两个通孔，两个所述通孔为一组并分别穿设有第一导体和第二导体，位于所述直管内的所述第一导体和所述第二导体的端部一一对应连接形成测温点。