[实用新型]一种粉尘捕捉装置

说明书

本实用新型涉及一种粉尘捕捉装置，包括外壳、导流板组件以及一个或多个过滤部件，所述导流板组件设置于所述外壳内，所述一个或多个过滤部件设置于所述导流板组件；其中，所述导流板组件包括间隔设置的多个导流板，所述多个导流板环绕所述导流板组件的轴线层叠设置，每相邻的两个所述导流板之间形成有一条流体通路，相邻的两条所述流体通路通过设置于所述导流板上的开口相连通。本实用新型一实施方式的粉尘捕捉装置，通过采用特定结构的导流板组件，能够实现粉尘颗粒的高效去除。

技术领域

本实用新型涉及除尘设备，尤其涉及一种可用于半导体产业的粉尘捕捉装置。

背景技术

近年来，在半导体、太阳能光伏、平板显示和LED为代表的泛半导体产业普遍采用包括离子注入法、铝等金属的刻蚀法、CVD法等各种方式生产相关产品。在这些产品的生产过程中会产生大量的尾气粉尘微粒，这些粉尘微粒普遍具有颗粒小、颗粒度不均匀(10～500μm之间分布)、颗粒数量多等特点。由于粉尘长期堆积会造成排气管道的堵塞，并进一步影响设备的稳定生产，因此在泛半导体制造过程中会配置专门用于去除混合气体中粉尘颗粒的除尘设备。

然而，现有的除尘设备或工艺繁琐，或存在除尘效率低的问题，不能实现粉尘颗粒的高效去除。

实用新型内容

为克服上述现有技术的至少一种缺陷，本实用新型一实施方式提供了一种粉尘捕捉装置，包括：

外壳；

导流板组件，设置于所述外壳内；以及

一个或多个过滤部件，设置于所述导流板组件；

其中，所述导流板组件包括间隔设置的多个导流板，所述多个导流板环绕所述导流板组件的轴线层叠设置，在每相邻的两个所述导流板之间形成有一条流体通路，相邻的两条所述流体通路通过设置于所述导流板上的开口相连通；

沿所述导流板组件的轴线方向，所述开口的投影包括第一端点和第二端点，所述轴线的投影为中心点，所述第一端点与所述中心点之间的连接线段为第一线段，所述第二端点与所述中心点之间的连接线段为第二线段，所述第一线段与所述第二线段之间的夹角为25～50°。

根据本实用新型一实施方式，每个所述导流板均为具有所述开口的圆筒形板，沿所述导流板组件的轴线方向，所述导流板的投影为一圆弧，所述圆弧的弧度为310～335°。

根据本实用新型一实施方式，多个所述导流板的轴线位于同一直线上；和/或，

在相邻的两个所述导流板之间设置有隔板，以使相邻的两条所述流体通路相连通。

根据本实用新型一实施方式，所述导流板包括第一端部和第二端部，所述开口位于所述第一端部和所述第二端部之间；所述多个导流板包括第一导流板、第二导流板和第三导流板，多个所述隔板包括第一隔板和第二隔板；

所述第二导流板位于所述第一导流板和所述第三导流板之间，所述第一隔板设置于所述第二导流板的第一端部与所述第一导流板的第二端部之间，所述第二隔板设置于所述第二导流板的第二端部与所述第三导流板的第一端部之间。

根据本实用新型一实施方式，所述外壳包括具有容纳空腔的壳体，在所述壳体内设置有内置盖，所述内置盖包括第一盖体、围板和密封部件，所述围板环绕所述第一盖体的轴线凸出地设置于所述第一盖体上，所述围板与所述导流板组件位于所述第一盖体的同一侧，所述密封部件套设于所述围板的外部。

根据本实用新型一实施方式，沿所述导流板组件的轴线方向，所述导流板组件的投影位于所述围板的投影的内部；和/或，

所述密封部件为环形的密封绳；和/或，

在所述壳体上设置有外置盖，沿所述导流板组件的轴线方向，所述内置盖位于所述外置盖与所述导流板组件之间。