[实用新型]一种晶圆厚度检测设备

权利要求书

1.一种晶圆厚度检测设备，包括安装基座（1），所述安装基座（1）上端安装有环形的检测平台（2），所述检测平台（2）相对于安装基座（1）可转动，其特征在于，所述检测平台（2）上端开有若干个检测口（201），若干个所述检测口（201）围绕着检测平台（2）周向分布，所述检测口（201）上下贯通，所述检测平台（2）上端安装固定有用于放置晶圆的装载托盘（3），所述装载托盘（3）位置与检测口（201）位置对应，所述环形检测平台（2）中间开口位置设置有安装柱（4），所述安装柱（4）侧壁安装有检测装置，所述检测装置包括检测安装架（5），所述检测安装架（5）位于安装柱（4）一侧并且与之相对滑动，所述检测安装架（5）末端安装固定有距离检测元件（6），所述检测安装柱（4）上设置有调节装置，其中通过所述调节装置控制距离检测元件（6）的位置使其沿着检测平台（2）半径方向线性移动进而实现对晶圆的检测。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆厚度检测设备，其特征在于，所述检测安装架（5）为U字形，所述检测安装架（5）的U字形两端均安装有距离检测元件（6），两个所述距离检测元件（6）分别位于检测平台（2）的上下两侧并且位于同一条垂直线上。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆厚度检测设备，其特征在于，所述检测装置为两组，两组所述检测装置位于安装柱（4）的两侧，其中通过所述调节装置能够控制两组检测装置同步移动。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆厚度检测设备，其特征在于，所述装载托盘（3）包括第一装载架（301），所述第一装载架（301）安装固定于检测平台（2）上端表面，所述第一装载架（301）上端表面开有容纳口（302），所述容纳口（302）内设置有第二装载架（303），所述第一装载架（301）以及第二装载架（303）中间位置均开有通口。

5.根据权利要求1-4任意一项所述的一种晶圆厚度检测设备，其特征在于，所述调节装置包括螺纹杆（401），所述螺纹杆（401）贯穿所述安装柱（4）并且与之转动连接，所述螺纹杆（401）贯穿所述安装架（5）并且与之螺纹连接，所述安装柱（4）上端设置有驱动螺纹杆（401）转动的第一电控装置（402）。

6.根据权利要求1-4任意一项所述的一种晶圆厚度检测设备，其特征在于，所述安装柱（4）上端设置有驱动检测平台（2）转动的驱动装置，所述驱动装置包括驱动齿轮（701），所述检测平台（2）内侧侧壁固定连接有与驱动齿轮（701）啮合的内齿圈（702），所述安装柱（4）侧壁设置有控制驱动齿轮（701）旋转的第二电控装置。