[实用新型]一种晶棒长度直径检测结构

权利要求书

1.一种晶棒长度直径检测结构，所述晶棒竖直放置在检测台的旋转台上，其特征在于，包括：

长度测量装置，包括激光测距传感器，设置在所述晶棒的上方，所述激光测距传感器上设有支架，所述支架位于所述晶棒的一侧；

直径测量装置，包括激光对射传感器，对称设置在所述晶棒未设有所述支架的两侧，所述激光对射传感器靠近所述支架的一端连接有传动模块，可带动所述激光对射传感器靠近或远离所述晶棒，所述传动模块与所述支架连接，所述激光对射传感器与所述传动模块的连接端设有位移传感器，用于测量所述激光对射传感器之间的距离；

驱动装置，设置在所述支架上，可带动所述传动模块沿所述支架上下移动。

2.根据权利要求1所述的一种晶棒长度直径检测结构，其特征在于：所述传动模块包括模块本体，所述模块本体与所述支架连接，所述模块本体上设有第一丝杠和第二丝杠，所述激光对射传感器靠近所述传动模块的一侧分别与所述第一丝杠和第二丝杠连接，所述第一丝杠与第二丝杠可分别带动所述激光对射传感器靠近或远离所述晶棒。

3.根据权利要求2所述的一种晶棒长度直径检测结构，其特征在于：所述模块本体上设有第一电机和第二电机，所述第一电机和第二电机可分别带动所述第一丝杠和第二丝杠反向旋转，从而带动所述激光对射传感器靠近或远离所述晶棒。

4.根据权利要求2所述的一种晶棒长度直径检测结构，其特征在于：所述模块本体上设有第一导轨，所述激光对射传感器靠近所述传动模块的一端设有第一滑块，所述激光对射传感器移动时可带动所述第一滑块沿所述第一导轨移动。

5.根据权利要求2所述的一种晶棒长度直径检测结构，其特征在于：所述第一丝杠和第二丝杠靠近所述晶棒的一端设有内端板，所述内端板与所述模块本体连接，所述内端板上设有校正杆，所述激光对射传感器靠近所述传动模块的一端设有挡块，所述校正杆的两个端面可与所述挡块接触，防止所述激光对射传感器与所述第一丝杠和第二丝杠的连接端与所述内端板相撞。

6.根据权利要求1所述的一种晶棒长度直径检测结构，其特征在于：所述驱动装置包括第三丝杠，与所述传动模块连接，可带动所述传动模块上下移动，所述第三丝杠一端与所述支架顶部连接，一端与检测台面连接。

7.根据权利要求6所述的一种晶棒长度直径检测结构，其特征在于：所述第三丝杠与所述检测台面的连接端设有第三电机，所述第三电机驱动所述第三丝杠带动所述传动模块上下移动。

8.根据权利要求1所述的一种晶棒长度直径检测结构，其特征在于：所述支架上设有第二导轨，所述传动模块靠近所述支架的一侧设有第二滑块，所述传动模块上下移动时，所述第二滑块可沿所述第二导轨移动。

9.根据权利要求8所述的一种晶棒长度直径检测结构，其特征在于：所述第二导轨顶部设有封头板，所述封头板上设有防撞胶。

10.根据权利要求1所述的一种晶棒长度直径检测结构，其特征在于：所述传动模块底部与所述支架底部之间设有缓冲装置。