[实用新型]一种二维材料异质结堆叠装置

说明书

本实用新型属于半导体制备领域，尤其是一种二维材料异质结堆叠装置，针对现有材料在粘贴堆叠过程中步骤繁琐，自动化程度较低，堆叠效率较低，需要手动对材料进行夹持和堆叠的问题，现提出如下方案，其包括堆叠平台、堆叠座、旋转柱、升降调节柱、移动控制板和安装组件，所述堆叠座固定安装在堆叠平台的顶部，所述堆叠座的顶部固定安装有金属吸盘，所述堆叠平台的顶部开设有旋转槽，所述旋转柱转动安装在旋转槽内，所述旋转柱的顶端开设有升降槽，所述升降调节柱滑动安装在升降槽内。本实用新型的材料在粘贴堆叠过程中步骤简便，自动化程度较高，堆叠效率较高，可以自动对材料进行夹持和堆叠。

技术领域

本实用新型涉及半导体制备技术领域，尤其涉及一种二维材料异质结堆叠装置。

背景技术

具有独特物理特性的二维层状半导体材料可以依靠其优异的光电性能和易于加工的特性来替代某些传统的半导体材料，并且不同的二维材料通过范德华力的作用结合在一起形成二维异质结，而二维异质结器件可用于制造光电探测器、图像传感器、存储器以及可穿戴的柔性电子器件，目前制备二维半导体材料异质结的方法主要是化学气相沉积和机械堆叠，其中机械堆叠是指通过物理机械的方法将一种材料转移至另一种材料上，构筑的材料包括机械剥离的WS2和MoS2以及化学气相沉积生长的石墨烯等二维材；

使用双面胶固定衬底，在材料贴合过程中易发生移动，增大了实验的失败率；材料贴合后由于PDMA粘度较大，操作台抬高后极易将样品带出，针对上述问题申请号为202123437901.1公开了一种二维材料异质结堆叠装置，包括：材料放置台和位置可调操作台，所述材料放置台包括金属吸盘和加热片，所述加热片为所述金属吸盘加热；所述金属吸盘内部为空腔结构，且所述空腔结构连通真空泵；所述金属吸盘上表面设有吸附区域，所述吸附区域内设有多个连通空腔结构的通孔；所述位置可调操作台的顶端连接材料粘贴板，所述材料粘贴板的悬空端下表面设有与所述吸附区域匹配的材料粘贴区域，然而在实际使用过程中，材料在粘贴堆叠过程中步骤繁琐，自动化程度较低，堆叠效率较低，需要手动对材料进行夹持和堆叠。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种二维材料异质结堆叠装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种二维材料异质结堆叠装置，包括堆叠平台、堆叠座、旋转柱、升降调节柱、移动控制板和安装组件，所述堆叠座固定安装在堆叠平台的顶部，所述堆叠座的顶部固定安装有金属吸盘，所述堆叠平台的顶部开设有旋转槽，所述旋转柱转动安装在旋转槽内，所述旋转柱的顶端开设有升降槽，所述升降调节柱滑动安装在升降槽内，所述升降调节柱的一侧开设有移动槽，所述移动控制板滑动安装在移动槽内，所述安装组件设置在移动控制板上，所述安装组件包括控制座、控制齿轮、两个丝杆一和两个夹持板，所述移动控制板的底部开设有固定槽，所述固定槽内滑动安装有控制座，控制座的顶部固定安装有弹簧一，弹簧一固定安装在固定槽的内壁上，所述控制座的一侧固定安装有齿条二，所述移动控制板的底部开设有两个控制槽，两个控制槽内均滑动安装有夹持板，两个夹持板的一侧均开设有螺纹孔一，两个控制槽的一侧内壁上均开设有转动孔，两个转动孔内均转动安装有丝杆一，丝杆一螺纹安装在对应的螺纹孔一内，两个丝杆一的一端固定安装有同一个控制齿轮，所述控制齿轮与齿条二啮合。

具体的，所述控制座上开设有凹槽，所述凹槽内滑动安装有限位块，限位块的一端固定安装有弹簧二，弹簧二固定安装在凹槽的内壁上，所述固定槽的内壁上开设有限位槽，所述限位块安装在限位槽内。

具体的，所述限位槽的内壁上开设有伸缩槽，所述伸缩槽内滑动安装有移动控制杆，所述移动控制杆的一端开设有螺纹槽一，伸缩槽内转动安装有丝杆二，丝杆二螺纹安装在螺纹槽一内。

具体的，所述移动控制板的一侧开设有连接槽，所述连接槽内转动安装有驱动齿轮，所述丝杆二的一端固定安装在驱动齿轮上，所述移动槽的内壁上固定安装有齿条一。