[实用新型]一种干式废气处理设备

说明书

本实用新型属于尾气处理设备技术领域，涉及一种干式废气处理设备，包括吸收桶、进气管和出气管，所述吸收桶内被网板分为上下连通的吸附室和气体缓冲室，所述进气管从高于所述吸收桶的位置连通到所述气体缓冲室，所述出气管连通所述吸附室的顶部，所述吸附室用来放置吸附剂，所述进气管的上设有用来往出气方向吹出氮气的吹扫机构。本干式废气处理设备能够利用吹扫机构，给进气管进行不间断吹扫氮气，起到保护气体和稀释气体的作用，使处理更加安全。

技术领域

本实用新型涉及尾气处理设备技术领域，特别涉及一种干式废气处理设备。

背景技术

半导体、太阳能、液晶面板、LED等行业的工厂在生产制造过程中会使用到很多种类的电子气体，这些气体中大多都是有毒有害的危险气体，可能具有腐蚀性或易燃易爆性等。这些有毒有害的气体在生产工艺过程中有些会被利用到，还有一些残余的气体需要处理后排放。因排放的气体也都是高危险气体，故需要在车间内靠近主工艺设备的地方及时处理，以最大限度的降低安全风险。现在常见的气体处理设备分为干式吸附式、水洗式、电加热水洗式、等离子水洗式等，尤其是最近几年随着芯片和太阳能电池制造中工艺的升级，等离子式尾气处理设备应用越来越普及。

目前行业内常见的废气治理方式为常规水洗喷淋、电加热裂解、天然气燃烧、等离子燃烧等形式，但这些形式的设备或装置在使用时会用到厂务冷却水或是城市自来水(也就是会产生废水排放)，设备结构相对复杂和繁琐，开机运行条件苛刻(需要配置的厂务需求内容较多)，设备运行成本高，设备需要定期进行维护保养和故障率较高等。而干式废气处理设备采用吸附剂吸附废气中的有害成分，不产生废水，处理难度小，被广泛采用。不过如果废气中的有害成分浓度较高，

因此有必要需要提供一种干式废气处理设备来解决以上问题。

发明内容

本实用新型的主要目的在于提供一种干式废气处理设备，能够稀释有害气体，使处理更加安全。

本实用新型通过如下技术方案实现上述目的：一种干式废气处理设备，包括吸收桶、进气管和出气管，所述吸收桶内被网板分为上下连通的吸附室和气体缓冲室，所述进气管从高于所述吸收桶的位置连通到所述气体缓冲室，所述出气管连通所述吸附室的顶部，所述吸附室用来放置吸附剂，所述进气管的上设有用来往出气方向吹出氮气的吹扫机构。

具体的，所述进气管上设有第一手动阀，所述出气管上设有第二手动阀。

具体的，所述进气管与所述出气管之间连接有一应急支路，所述应急支路上设有气动阀和备用吸附桶。

进一步的，所述进气管上设有向电控系统传输管内压力信号的电子压力表，所述气动阀在所述进气管内的压力高于预设值时打开。

具体的，所述吸附室的上部设有颜色指示窗，所述颜色指示窗内设有用来表征有害气体过量的变色球。

本实用新型技术方案的有益效果是：

本干式废气处理设备能够利用吹扫机构，给进气管进行不间断吹扫氮气，起到保护气体和稀释气体的作用，使处理更加安全。

附图说明

图1为实施例干式废气处理设备的结构简图。

图中数字表示：

1-吸收桶，11-吸附室，111-颜色指示窗，12-气体缓冲室，13-网板；

2-进气管，21-第一手动阀，22-吹扫机构，23-电子压力表；

3-出气管，31-第二手动阀；

4-吸附剂；

5-应急支路，51-气动阀，52-备用吸附桶。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。