[实用新型]涂敷装置有效
申请号: | 202222449961.3 | 申请日: | 2022-09-16 |
公开(公告)号: | CN218502525U | 公开(公告)日: | 2023-02-21 |
发明(设计)人: | 裵敏镐;金贤眞;白尚勋;梁海旭;金容焕;金钟协 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | B05C5/02 | 分类号: | B05C5/02;B05C11/00;B05C13/00 |
代理公司: | 北京金宏来专利代理事务所(特殊普通合伙) 11641 | 代理人: | 李子光 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 装置 | ||
1.一种涂敷装置,其特征在于,包括:
工作台倾斜部,绕第一摆动轴线摆动;
工作台旋转部,布置在所述工作台倾斜部上,其中所述工作台旋转部绕与所述第一摆动轴线相交的第一旋转轴线旋转;
工作台对准部,布置在所述工作台旋转部上,其中所述工作台对准部包括在第一方向上延伸的第一短轴和在与所述第一方向相交的第二方向上延伸的第二短轴;以及
工作台,布置在所述工作台对准部上,其中涂敷目标选择性地安置在所述工作台上。
2.根据权利要求1所述的涂敷装置,其特征在于,进一步包括:工作台传送部,所述工作台传送部包括在所述第一方向上延伸的第一长轴和在与所述第一方向相交的所述第二方向上延伸的第二长轴,
所述工作台倾斜部布置在所述工作台传送部上,并且
所述工作台传送部在第一模式下将所述工作台对准部、所述工作台旋转部和所述工作台移动到布置有喷嘴部分的工艺区域,其中所述喷嘴部分向所述涂敷目标喷射液体材料。
3.根据权利要求2所述的涂敷装置,其特征在于,所述工作台对准部在第二模式下使所述工作台和所述涂敷目标与所述喷嘴部分对准。
4.根据权利要求3所述的涂敷装置,其特征在于,所述工作台倾斜部在第三模式下绕所述第一摆动轴线摆动,以使所述工作台旋转部、所述工作台对准部和所述工作台倾斜。
5.根据权利要求4所述的涂敷装置,其特征在于,
在平面视图中具有圆形形状的孔区域限定穿过所述涂敷目标,
所述孔区域的中心在所述第二模式下与所述工作台旋转部的所述第一旋转轴线重叠,并且
所述液体材料在所述第三模式下通过所述喷嘴部分涂敷到所述孔区域上。
6.根据权利要求3所述的涂敷装置,其特征在于,
在平面视图中具有圆形形状的孔区域限定穿过所述涂敷目标,
所述工作台旋转部在第四模式下使所述工作台对准部和所述工作台绕所述第一旋转轴线旋转,并且
其中,所述喷嘴部分在所述第四模式下将所述液体材料涂敷到所述孔区域的边缘上。
7.一种涂敷装置,其特征在于,包括:
工作台倾斜部,基于第一摆动轴线摆动;
工作台旋转部,布置在所述工作台倾斜部上并且绕与所述第一摆动轴线相交的第一旋转轴线旋转;
工作台对准部,布置在所述工作台旋转部上;以及
工作台,布置在所述工作台对准部上,涂敷目标选择性地安置在所述工作台上,
其中,所述工作台倾斜部以U形状围绕所述工作台旋转部和所述工作台对准部。
8.根据权利要求7所述的涂敷装置,其特征在于,进一步包括布置在所述工作台上的喷嘴部分,其中所述喷嘴部分向所述涂敷目标喷射液体材料,
其中,所述工作台对准部在第一模式下使所述工作台和所述涂敷目标与所述喷嘴部分对准。
9.根据权利要求8所述的涂敷装置,其特征在于,所述工作台旋转部在第二模式下使所述工作台对准部、所述工作台和所述涂敷目标绕所述第一旋转轴线旋转,和/或
其中,所述工作台倾斜部在第三模式下绕所述第一摆动轴线摆动,以使所述工作台旋转部、所述第一旋转轴线、所述工作台对准部、所述工作台和所述涂敷目标倾斜。
10.根据权利要求1至9中任何一项所述的涂敷装置,其特征在于,所述工作台包括布置在限定在所述工作台内部的相机安置空间中的监控相机。
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