[实用新型]一种集成化晶圆干燥系统中的管路输送模块

权利要求书

1.一种集成化晶圆干燥系统中的管路输送模块，该管路输送模块与工艺槽体连接，用于向工艺槽体输送干燥介质，其特征在于，所述管路输送模块包括：

第一氮气输送管路，用于输送氮气至工艺槽体；

第二氮气输送管路，包括第一氮气输送支路和第二氮气输送支路，所述第一氮气输送支路用于单独输送氮气至工艺槽体，所述第二氮气输送支路连接混合罐体，用于输送氮气至混合罐体，并将从混合罐体输出的干燥介质输送至工艺槽体；

异丙醇输送管路，连接所述混合罐体，用于输送异丙醇至混合罐体。

2.如权利要求1所述的一种集成化晶圆干燥系统中的管路输送模块，其特征在于，所述管路输送模块包括加热单元，所述加热单元包括第一加热组件、第二加热组件及第三加热组件，其中，

第一加热组件，用于加热第一氮气输送管路的输送的氮气；

第二加热组件，用于加热第一氮气输送支路的输送的氮气，和/或第二氮气输送支路输送的从所述混合罐体输出的干燥介质；

第三加热组件，用于加热异丙醇输送管路输送的异丙醇，和/或第二氮气输送支路的输送的氮气，和/或第二氮气输送支路输送的氮气与异丙醇输送管路输送的异丙醇混合后的干燥介质。

3.如权利要求2所述的一种集成化晶圆干燥系统中的管路输送模块，其特征在于，第一加热组件采用柔性金属加热管进行加热，第二加热组件采用加热套进行加热，所述第三加热组件采用水浴加热的方式对混合罐体进行加热。

4.如权利要求3所述的一种集成化晶圆干燥系统中的管路输送模块，其特征在于，从所述混合罐体输出的干燥介质包括氮气、异丙醇或氮气与异丙醇的混合气体。

5.如权利要求4所述的一种集成化晶圆干燥系统中的管路输送模块，其特征在于，所述管路输送模块包括测温单元，所述测温单元包括第一测温组件、第二测温组件和第三测温组件，其中，

所述第一氮气输送管路上在所述第一加热组件的两侧均设置控制阀，所述第一测温组件直接连接所述第一加热组件位于两侧控制阀之间；

所述第二测温组件设置在连接第一氮气输送管路和第二氮气输送管路的输送干路上；

第三测温组件设置在用于水浴加热的水循环管路上。