[实用新型]流体致动器

权利要求书

1.一种流体致动器，其特征是，包括多个容积可变的容腔(1)，所述容腔(1)之间通过连通腔(2)连通，所述容腔(1)和连通腔(2)共同构成封闭的容质腔(4)，所述容质腔(4)内充满流体工质，多个所述容腔(1)中至少一个形成致动腔(11)，其余的所述容腔(1)为执行腔(12)，且执行腔(12)的数量≥1，所述致动腔(11)对应设置有致动单元，致动单元用于驱动致动腔(11)产生容积变化而促使流体工质流入或流出各个执行腔(12)，以控制执行腔(12)的容积变化。

2.如权利要求1所述的流体致动器，其特征在于：所述执行腔(12)的外壁部分或全部地构成为软膜(3)，所述的软膜(3)能够随流体工质流入或流出其所在的执行腔(12)而变形。

3.如权利要求2所述的流体致动器，其特征在于：所述容腔(1)的外壁部分或全部地构成为软膜(3)，所述的软膜(3)能够随流体工质流入或流出其所在的容腔(1)而变形。

4.如权利要求1所述的流体致动器，其特征在于：所述致动腔(11)通过连通腔(2)和执行腔(12)连通。

5.如权利要求4所述的流体致动器，其特征在于：相邻两个所述执行腔(12)之间通过连通腔(2)连通。

6.如权利要求1所述的流体致动器，其特征在于：所述致动单元为压电致动器、静电致动器、电磁致动器、形状记忆金属致动器、气体致动器、热致动器或机械致动器。

7.如权利要求1所述的流体致动器，其特征在于：所述容质腔(4)内的流体工质为可压缩或不可压缩。