[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 202222343985.0 | 申请日： | 2022-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN218387899U | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 王琳琳;张睿;王凯杰;赵转转;阮玉明 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R19/00 |
| 代理公司： | 深圳三用知识产权代理事务所(普通合伙) 44859 | 代理人： | 金晶 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区科技*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
1.一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对设置的振膜，所述背板包括本体部和连接所述本体部和所述基底的固定部，其特征在于，所述背板还设有凸出所述本体部的若干条状加强筋。
2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：每根所述加强筋连接所述本体部的相对设置的两个边缘。
3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于：至少一根所述加强筋经过所述背板的中心。
4.根据权利要求3所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述加强筋沿所述背板中心呈中心对称设置。
5.根据权利要求4所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述加强筋沿所述背板本体部的径向延伸。
6.根据权利要求4所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述加强筋包括多根平行间隔设置的横条加强筋和与所述横条加强筋垂直的多根平行间隔设置的竖条加强筋。
7.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述背板还设有位于所述固定部和本体部连接处的连接块，所述连接块分别与所述固定部和本体部连接。
8.根据权利要求7所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述固定部和所述本体部垂直，所述连接块为楔形。
9.根据权利要求7所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述加强筋位于所述本体部靠近所述基底的一侧。
10.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述背板设有若干贯穿所述本体部的通孔。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于瑞声声学科技（深圳）有限公司，未经瑞声声学科技（深圳）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202222343985.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种小容量去离子水温度控制功能单元
- 下一篇：组合式室外配电箱
