[实用新型]一种多边固定式镀膜装载夹具有效

专利信息
申请号: 202222281502.9 申请日: 2022-08-29
公开(公告)号: CN218321608U 公开(公告)日: 2023-01-17
发明(设计)人: 朱振兴 申请(专利权)人: 苏州金研光电科技股份有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C14/24
代理公司: 苏州言思嘉信专利代理事务所(普通合伙) 32385 代理人: 安琳
地址: 215000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 多边 固定 镀膜 装载 夹具
【说明书】:

本实用新型公开了一种多边固定式镀膜装载夹具,包括夹具框架、第一固定机构和第二固定机构,所述第一固定机构和第二固定机构数量均设为两个,两个所述第一固定机构分别设置于夹具框架前后两侧,两个所述第二固定机构分别设置于夹具框架左右两侧,所述第一固定机构由第一旋转轴、第一载板和第一螺杆组成。本实用新型通过在夹具框架前后两侧以及左右两侧分别设置第一固定机构和第二固定机构,借助第一固定机构和第二固定机构的切换来对产品进行不同方向的固定,使得产品未镀膜的区域显露出来,方便后续进行二次补镀,同时,第一固定机构和第二固定机构均可带动产品进行翻面,方便对产品正反两面进行镀膜,有利于提升产品的全表面镀膜质量。

技术领域

本实用新型涉及镀膜装载夹具技术领域,具体涉及一种多边固定式镀膜装载夹具。

背景技术

真空蒸镀,简称蒸镀,是指在真空条件下,采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化,粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术,具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。在对工件进行镀膜时,通常是将待镀工件固定于装载夹具上,再将装载夹具安装于镀膜伞架上,蒸镀靶材设置于镀膜伞架下方,通过蒸发而将靶材冲至镀膜伞架,从而对待镀工件的朝向镀膜伞架下方的一面进行镀膜。

现有的镀膜装载夹具在使用时,其上的固定机构对产品侧边进行固定时,不仅会对产品表面造成一定的遮挡,影响镀膜效果,而且无法对工件进行旋转翻面,需要将产品拆下后进行人工翻面,费时费力,不利于对产品进行全表面镀膜,例如申请号为CN202121009036.8公开的一种无挡边镀膜装载夹具,该专利通过螺杆配合第一螺纹孔与第二螺纹孔,使夹板对镀膜产品进行夹持固定,而夹板会对产品表面造成一定的遮挡,影响镀膜效果,且无法对产品进行旋转翻面,对产品进行全表面镀膜时,需要将产品拆下后进行人工翻面。

因此,发明一种多边固定式镀膜装载夹具来解决上述问题很有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种多边固定式镀膜装载夹具,以解决技术中现有的镀膜装载夹具在使用时,其上的固定机构对产品侧边进行固定时,不仅会对产品表面造成一定的遮挡,影响镀膜效果,而且无法对工件进行旋转翻面,需要将产品拆下后进行人工翻面,费时费力,不利于对产品进行全表面镀膜的问题。

为了实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种多边固定式镀膜装载夹具,包括夹具框架、第一固定机构和第二固定机构,所述第一固定机构和第二固定机构数量均设为两个,两个所述第一固定机构分别设置于夹具框架前后两侧,两个所述第二固定机构分别设置于夹具框架左右两侧,所述第一固定机构由第一旋转轴、第一载板和第一螺杆组成,所述第一旋转轴一端与夹具框架转动连接,所述第一旋转轴另一端固定连接有第一旋钮,所述第一载板固定连接于第一旋转轴中部,所述第一螺杆数量设为两个,两个所述第一螺杆分别螺纹连接于第一载板两端,所述第二固定机构由第二旋转轴、第二载板和第二螺杆组成,所述第二旋转轴一端与夹具框架转动连接,所述第二旋转轴另一端固定连接有第二旋钮,所述第二载板固定连接于第二旋转轴中部,所述第二螺杆数量设为两个,两个所述第二螺杆分别螺纹连接于第二载板两端。

优选的,所述夹具框架前后两侧顶部均开设有第一限位上槽,所述夹具框架前后两侧底部均开设有第一限位下槽。

优选的,所述第一限位上槽和第一限位下槽数量均设为两个,两个所述第一限位上槽和两个所述第一限位下槽均关于第一载板中线对称分布。

优选的,两个所述第一限位上槽均与其中一个所述第一螺杆相匹配,两个所述第一限位下槽均与另一个所述第一螺杆相匹配,两个第一限位上槽和两个第一限位下槽的设置方便在旋转后对两个第一螺杆进行限位。

优选的,所述夹具框架左右两侧顶部均开设有第二限位上槽,所述夹具框架左右两侧底部均开设有第二限位下槽。

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