[实用新型]一种重力自对位装置有效

专利信息
申请号: 202222273047.8 申请日: 2022-08-29
公开(公告)号: CN217866918U 公开(公告)日: 2022-11-22
发明(设计)人: 马世猛;代智杰;高洪涛 申请(专利权)人: 苏州昶明微电子科技合伙企业(有限合伙)
主分类号: B65G49/07 分类号: B65G49/07;B65G49/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215123 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 重力 对位 装置
【权利要求书】:

1.一种重力自对位装置,用于对布片机排布的硅片进行快速精确对位,其特征在于,包括:顶升气缸,托盘,所述顶升气缸布置于所述硅片一角的下方,所述托盘与所述顶升气缸呈对角设置且位于所述硅片外端的下方且倾斜角度设置,所述托盘为直角槽状,且所述托盘的外端相邻的直角边设置有固定部,并围合形成朝向所述硅片方向开设的直角槽口,所述顶升气缸能够沿竖直方向上升顶起所述硅片的一角,使得所述硅片具有倾斜角;

具有倾斜角的所述硅片能够受自身重力原因而倾斜滑动,且所述硅片靠近所述托盘的两条相邻的边能够抵接至所述固定部的内边缘,实现所述硅片的定位。

2.根据权利要求1所述的一种重力自对位装置,其特征在于:所述硅片与所述托盘相邻的两条边部分位于所述托盘的直角槽内。

3.根据权利要求2所述的一种重力自对位装置,其特征在于:所述硅片具有的倾斜角与所述托盘的倾斜角度相同。

4.根据权利要求3所述的一种重力自对位装置,其特征在于:所述托盘的倾斜角度为10°,且倾斜方向为朝向所述硅片的外端下方倾斜。

5.根据权利要求1所述的一种重力自对位装置,其特征在于:所述顶升气缸的顶部设置柔性材质的包裹层,防止硅片划伤。

6.根据权利要求1所述的一种重力自对位装置,其特征在于:所述托盘的直角槽为矩形槽。

7.根据权利要求1所述的一种重力自对位装置,其特征在于:所述装置还包括呈同样倾斜角度设置的抓取机构。

8.根据权利要求3所述的一种重力自对位装置,其特征在于:所述硅片在具有与所述托盘的倾斜角度相同的倾斜角时,所述硅片与所述托盘相邻的直角边的底端能够与所述托盘的表面相贴合。

9.根据权利要求4所述的一种重力自对位装置,其特征在于:所述硅片的倾斜方向与所述托盘的倾斜方向相同,且所述硅片的倾斜重心朝向所述托盘的直角边交汇处。

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