[实用新型]一种石英舟支撑底座加工托举装置有效
| 申请号: | 202222259508.6 | 申请日: | 2022-08-26 |
| 公开(公告)号: | CN218879344U | 公开(公告)日: | 2023-04-18 |
| 发明(设计)人: | 汪日记;王光余;高盼 | 申请(专利权)人: | 合肥赛默科思半导体材料有限公司 |
| 主分类号: | B66F7/14 | 分类号: | B66F7/14;B66F7/28 |
| 代理公司: | 合肥北极牛知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34239 | 代理人: | 刘苗 |
| 地址: | 230000 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码: | 安徽;34 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 石英 支撑 底座 加工 托举 装置 | ||
1.一种石英舟支撑底座加工托举装置,包括锭盘(1)、底法兰(2)、支撑柱(3)、上板(4)和凸台(5),其特征在于,所述的锭盘(1)上表面中央位置设有底法兰(2),底法兰(2)上设有支撑柱(3),支撑柱(3)顶端设有上板(4),上板(4)上表面设有四个凸台(5),锭盘(1)上设有四组支撑螺母(6),支撑螺母(6)上活动设有调节螺杆(9),调节螺杆(9)和调节螺杆(9)连接处设有锁紧螺母(8),调节螺杆(9)顶端设置在上板(4)下方。
2.根据权利要求1所述的石英舟支撑底座加工托举装置,其特征在于,所述的调节螺杆(9)顶端外壁设有拧动槽(10)。
3.根据权利要求2所述的石英舟支撑底座加工托举装置,其特征在于,所述的支撑螺母(6)底端和锭盘(1)连接处设有底防滑垫(7)。
4.根据权利要求3所述的石英舟支撑底座加工托举装置,其特征在于,所述的调节螺杆(9)顶端和上板(4)连接处设有保护垫(11)。
5.根据权利要求4所述的石英舟支撑底座加工托举装置,其特征在于,所述的支撑螺母(6)和调节螺杆(9)设置在凸台(5)的正下。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥赛默科思半导体材料有限公司,未经合肥赛默科思半导体材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202222259508.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。





