[实用新型]玻璃基板镀膜夹治具有效
| 申请号: | 202222251359.9 | 申请日: | 2022-08-26 |
| 公开(公告)号: | CN217839120U | 公开(公告)日: | 2022-11-18 |
| 发明(设计)人: | 王晓刚;王伟;夏利敏;余启川;王吉 | 申请(专利权)人: | 美迪凯(浙江)智能光电科技有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
| 代理公司: | 杭州华知专利事务所(普通合伙) 33235 | 代理人: | 张德宝 |
| 地址: | 314400 浙江省嘉兴市海*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 玻璃 镀膜 夹治具 | ||
本实用新型公开了一种玻璃基板镀膜夹治具,包括具有磁吸附功能的夹具盖板和夹具底板,所述夹具底板中心设置有玻璃基板安置孔,夹具盖板中心设置有玻璃基板加工口,夹具盖板上位于玻璃基板加工口内侧设置有一圈玻璃基板外沿压紧环,玻璃基板外沿压紧环和玻璃基板安置孔内形成玻璃基板安置槽。本实用新型玻璃基板安置槽的厚度小于玻璃基板的厚度,玻璃基板外沿通过磁铁结构吸附夹具盖板压紧,吸附力均匀,长时间镀膜不容易产生翘曲,且不会因为压力过大压碎玻璃基板;夹具盖板和夹具底板的内圆与上下端面间连接处采用圆角设计,在压紧玻璃基板产品时不会产生应力集中,从而大大降低玻璃基板产品惊裂。
技术领域
本实用新型涉及溅射镀膜机光学成膜夹治具领域,尤其涉及一种玻璃基板镀膜夹治具。
背景技术
目前在使用EVATEC RADS 镀膜机进行玻璃基板镀膜时,原厂玻璃基板镀膜夹治具包括底板和盖板,底板和盖板间通过卡合件直接卡合压紧固定,底板和盖板间安置玻璃基板。
然而由于底板和盖板间是卡合压紧,底板和盖板间的间隙就不能太小,避免直接压碎玻璃基板连接处,贴合时,底板和盖板间的间隙太大,使用时无法夹紧镀膜的玻璃基板,由于RADS镀膜机在工作时,工件盘及夹盘一直在旋转,导致玻璃基板在镀膜夹具中来回碰撞,造成基板破碎及镀膜外观异常。考虑到镀膜良率及玻璃基板的翘曲镀的需求,本申请设计了特殊尺寸夹治具来满足需求。
实用新型内容
为解决上述技术问题,本实用新型设计了一种玻璃基板镀膜夹治具。
本实用新型采用如下技术方案:
一种玻璃基板镀膜夹治具,包括具有磁吸附功能的夹具盖板和夹具底板,所述夹具底板中心设置有玻璃基板安置孔,夹具盖板中心设置有玻璃基板加工口,夹具盖板上位于玻璃基板加工口内侧设置有一圈玻璃基板外沿压紧环,玻璃基板外沿压紧环和玻璃基板安置孔内形成玻璃基板安置槽,夹具盖板和夹具底板压紧后,玻璃基板安置槽的厚度小于玻璃基板的厚度,夹具底板上沿圆周均匀安装有多个磁铁安装槽,磁铁安装槽内安置有磁铁块,夹具盖板上沿圆周均匀对应设置有多个磁铁吸附槽,磁铁吸附槽与磁铁块配合吸附定位,夹具盖板和夹具底板通过磁铁块吸附压紧,夹具底板上沿圆周均匀安装有凸起的定位条,夹具盖板上对应设置有相配的定位槽,玻璃基板超出玻璃基板安置槽的厚度小于磁铁块凸出夹具底板的厚度。
作为优选,所述定位条采用带有弧度的条形定位条,定位槽采用对应带有弧度的条形定位槽。
作为优选,所述具有磁吸附功能的夹具盖板和夹具底板采用不锈钢夹具盖板和夹具底板。
作为优选,所述磁铁安装槽上对应开设有磁铁拆装口。便于磁铁块的拆装。
作为优选,所述夹具盖板上沿圆周均匀设置有多个夹具盖板拆卸口。便于打开夹具盖板。
作为优选,所述夹具底板上设置有定位凸台,夹具盖板上对应设置有定位槽,定位凸台与定位槽配合。便于夹具盖板对准覆盖夹具底板吸附夹紧。
作为优选,所述夹具盖板和夹具底板上分别设置有对位口。便于夹具盖板对准覆盖夹具底板吸附夹紧。
作为优选,所述对位口呈V形槽设置。
作为优选,所述夹具盖板和夹具底板的内圆与上下端面间连接处采用圆角设计。
本实用新型的有益效果是:(1)、本实用新型玻璃基板安置槽的厚度小于玻璃基板的厚度,玻璃基板外沿通过磁铁结构吸附夹具盖板压紧,吸附力均匀,长时间镀膜不容易产生翘曲,且不会因为压力过大压碎玻璃基板;(2)、夹具盖板和夹具底板的内圆与上下端面间连接处采用圆角设计,在压紧玻璃基板产品时不会产生应力集中,从而大大降低玻璃基板产品惊裂。
附图说明
图1是本实用新型的一种立体图;
图2是本实用新型的一种主视图;
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