[实用新型]一种用于芯片制造中抽检装置

权利要求书

1.一种用于芯片制造中抽检装置，包括垫板(1)，其特征在于：所述垫板(1)的顶部一侧靠近后侧位置固定连接有第一电动推杆(9)，且垫板(1)的顶部另一侧固定连接有安装架(2)，所述第一电动推杆(9)的伸缩端固定连接有L型块(10)，所述安装架(2)的内顶部一侧固定连接有第二电动推杆(7)，且安装架(2)的内顶部滑动连接有滑块(4)，所述滑块(4)的底部中心处固定连接有第三电动推杆(6)，且滑块(4)的顶部中心处螺纹贯穿设置有调节螺栓(5)，所述第三电动推杆(6)的伸缩端固定连接有安装板(8)，所述安装板(8)的底部设置有电极片(11)，所述第二电动推杆(7)的伸缩端固定连接有升降块(13)，所述升降块(13)的顶部四周贯穿设置有若干导杆(16)，所述导杆(16)的表面底部位置套设有弹簧(18)，且导杆(16)的底部端面固定连接有圆块(3)，所述垫板(1)的顶部中心处贯穿设置有圆柱块(12)，且垫板(1)的底部中心处固定连接有U型板(14)，所述U型板(14)的内底部中心处固定连接有电机(15)。

2.根据权利要求1所述的用于芯片制造中抽检装置，其特征在于：所述L型块(10)的底部前后位置分别与垫板(1)的内表面滑动连接。

3.根据权利要求1所述的用于芯片制造中抽检装置，其特征在于：所述弹簧(18)的底部端面与圆块(3)的顶部固定连接，且弹簧(18)的顶部端面与升降块(13)的底部固定连接。

4.根据权利要求1所述的用于芯片制造中抽检装置，其特征在于：所述电机(15)的驱动端与圆柱块(12)的底部中心处固定连接。

5.根据权利要求1所述的用于芯片制造中抽检装置，其特征在于：所述圆柱块(12)的表面与垫板(1)的表面转动连接。

6.根据权利要求1所述的用于芯片制造中抽检装置，其特征在于：所述圆块(3)位于垫板(1)的顶部中心处，且圆块(3)的底部中心处转动连接有橡胶垫(17)。

7.根据权利要求1所述的用于芯片制造中抽检装置，其特征在于：所述调节螺栓(5)的底部端面与安装架(2)的外表面顶部滑动连接。