[实用新型]一种X射线管加热排气装置

说明书

本申请涉及一种X射线管加热排气装置，包括激光系统、抽真空装置和控制系统，所述控制系统与激光系统、抽真空装置均连接，抽真空装置与X射线管阴极组件的下部排气管连通，其特征是：还设置有光学系统一、光学系统二，激光系统由若干个激光器一、若干个激光器二组成，激光器一、激光器二分别围绕X射线管周向上下对应配置，激光器一、激光器二分别对准各自的光学系统一、光学系统二，光学系统一包括准直镜组一、振镜模组一、聚焦镜一，聚焦镜一与阳极组件需要加热的位置对应，光学系统二包括准直镜组二、振镜模组二、聚焦镜二，聚焦镜二与阴极组件需要加热的位置对应。本申请结构简洁，使用方便，成本低，加热一致性好。

技术领域

本申请涉及一种X射线管加热排气装置，主要适用于X射线管组件的加热排气。

背景技术

排气是X射线管生产过程中的关键过程，X射线管工作时是否稳定很大程度上取决于排气时是否能使管子内部获得稳定的高真空。在实际应用时，X射线管会升温，随着温度的改变，材料对气体的吸附能力会改变。因此在排气过程中，需要对管内的材料进行加热，使材料内部的气体得到充分释放，使得X射线管在后续使用时，可以保持管内真空度的稳定。

现有的加热方式主要以下3种：1、整管加热；2、打靶加热；3、感应加热，抽真空的方式都是通过X射线管1的阴极组件11下部排气管111与抽真空装置连接抽真空来实现。

1、参见图1，X射线管1整管加热时，X射线管1主体被加热设备2环绕包围加热，受X射线管1玻璃外壳13的影响，温度一般无法高于550℃，否则会导致玻璃融化，因此一般只能用来去除水汽。且加热时需要将产品罩住，加热设备比较庞大。

2、参见图2，打靶加热是通过加热灯丝产生电子，同时在阴极组件11和阳极组件12之间增加高压场，使得电子在高压场作用下加速轰击阳极组件12或阴极组件11，使得电子的动能转化为热能，从而起到加热的作用，但使用该方式会产生以下几个问题：a.由于使用过程中使用到了高压(20~60KV)，高压部分3和低压部分4需要设置高压隔离装置5进行充分的隔离；b.由于打靶的过程会产生X射线，因此打靶过程中，整个X射线管1周边需要做个X射线防护罩6；c. 如果是阴极打靶，则需要在设计上使灯丝和阴极头隔离，这种做法会增加产品结构的复杂性。图2所示为目前行业内主流做法的阳极打靶。基于以上原因，利用打靶方式一方面会大大增加生产过程的安全风险，另一方面会使得设备开发成本大大增加。

3、参见图3，感应加热是通过感应电源6和感应线圈7进行感应加热，使得管内零件产生涡流，从而起到加热材料作用，其加热效率和感应线圈7与产品的位置，感应线圈7形状、磁通量，感应电源6输出电压等都有关系，因此在实际使用时，很难保证产品的加热的一致性。

发明内容

本申请解决的技术问题是克服现有技术中存在的上述不足，而提供一种结构简洁，使用方便，成本低，加热一致性好的X射线管加热排气装置。