[实用新型]高纯气体供应系统特气供应分流盘有效
| 申请号： | 202222187593.X | 申请日： | 2022-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN217978370U | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 肖玉军 | 申请（专利权）人： | 江苏虎虎机电科技有限公司 |
| 主分类号： | F17C13/08 | 分类号： | F17C13/08;F17C13/02;F17C13/12 |
| 代理公司： | 苏州高专知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32474 | 代理人： | 冷泠 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高纯 气体 供应 系统 分流 | ||
1.高纯气体供应系统特气供应分流盘，包括盘体(6)，其特征在于：所述盘体(6)的内部环绕设置有过滤网格(9)，所述盘体(6)的外侧表面设置有进气口(7)，所述进气口(7)的顶部设置有控制阀(5)，所述盘体(6)的顶部设置有盖板(4)，所述盖板(4)的顶部设置有调节柱(3)，所述调节柱(3)的外侧表面套设有套筒(2)，所述套筒(2)的外端设置有定位板(1)。
2.根据权利要求1所述的高纯气体供应系统特气供应分流盘，其特征在于：所述盖板(4)的底部表面环绕设置有插接针(10)，且插接针(10)对应的盘体(6)顶部表面环绕设置有插接孔(8)。
3.根据权利要求1所述的高纯气体供应系统特气供应分流盘，其特征在于：所述定位板(1)与套筒(2)一体成型压合而成，所述定位板(1)的两侧表面贯穿设置有定位螺孔(13)，且定位螺孔(13)的内侧活动安装有定位螺栓(12)。
4.根据权利要求1所述的高纯气体供应系统特气供应分流盘，其特征在于：所述过滤网格(9)的顶部两侧皆固定安装有拉环(15)，且调节柱(3)的表面和套筒(2)的内壁皆设置有扭合螺纹(14)。
5.根据权利要求4所述的高纯气体供应系统特气供应分流盘，其特征在于：所述进气口(7)沿着盘体(6)外侧表面环绕排布设置，且进气口(7)之间的排布距离皆相等。
6.根据权利要求1所述的高纯气体供应系统特气供应分流盘，其特征在于：所述盖板(4)的底部表面设置有密封垫(11)，且密封垫(11)的材质为橡胶。
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