[实用新型]一种用于溴素汽化的过热装置

说明书

本实用新型公开一种用于溴素汽化的过热装置，过热装置包括：溴素汽化罐、汽化加热器、溴蒸汽过热器以及进料管，在溴素汽化罐上设有进料口和出料口，溴素汽化罐用于为液体溴素提供汽化过热场所；汽化加热器安装于溴素汽化罐的罐内靠近其底部位置，汽化加热器用于实现液体溴素的汽化；溴蒸汽过热器安装于溴素汽化罐的罐内靠近其顶部位置，溴蒸汽过热器用于实现溴蒸汽过热；进料管的前端从溴素汽化罐的进料口伸入其内部，其后端与液体溴素输送管连通，进料管的前端设置于汽化加热器和溴蒸汽过热器之间，进料管用于输送液体溴素至溴素汽化罐内部。本实用新型能够实现进料溴素的瞬间汽化，为溴化氢的合成提供过热的溴蒸汽，防止溴蒸汽在传输过程中液化。

技术领域

本实用新型具体涉及一种用于溴素汽化的过热装置。

背景技术

溴化氢，又名氢溴酸，HBr的二元化合物，具有较强的腐蚀性，能与一些活性金属粉末发生反应，是制造各种无机溴化物和某些烷基溴化物的基本原料。因其具备的强腐蚀性使其能够应用于半导体行业中的蚀刻工艺中。现有技术中，等离子溴化氢蚀刻技术可以精确控制蚀刻深度及垂直度，同时不破坏臭氧层，不产生温室气体，是氟碳类蚀刻气体的良好替代品。随着半导体行业的发展，其对制程的主要工艺蚀刻用到的电子级溴化氢纯度提出了更高的要求，在制程过程中，如果杂质的污染，很容易导致晶片内电路功能的损坏，使得集成电路的失效及影响几何特征的形成，因此需要具有高纯度的溴化氢气体。

目前溴化氢的合成主要有氢气和溴直接燃烧合成，溴素是合成溴化氢的主要原料。溴蒸汽容易液化，溴蒸汽的带有液化溴素容易使溴化氢合成燃烧不稳定，甚至容易火焰熄灭，故溴素的汽化过热工艺段尤为重要。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提出了一种用于溴素汽化的过热装置。

为了达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：

本实用新型公开一种用于溴素汽化的过热装置，包括：

溴素汽化罐，在溴素汽化罐上设有进料口和出料口，溴素汽化罐用于为液体溴素提供汽化过热场所；

汽化加热器，汽化加热器安装于溴素汽化罐的罐内靠近其底部位置，汽化加热器用于实现液体溴素的汽化；

溴蒸汽过热器，溴蒸汽过热器安装于溴素汽化罐的罐内靠近其顶部位置，溴蒸汽过热器用于实现溴蒸汽过热；

进料管，进料管的前端从溴素汽化罐的进料口伸入其内部，其后端与液体溴素输送管连通，进料管的前端设置于汽化加热器和溴蒸汽过热器之间，进料管用于输送液体溴素至溴素汽化罐内部。

本实用新型一种用于溴素汽化的过热装置包括：溴素汽化罐、汽化加热器、溴蒸汽过热器以及进料管，实现了进料溴素的瞬间汽化，为溴化氢的合成提供过热的溴蒸汽，防止溴蒸汽在传输过程中液化。

在上述技术方案的基础上，还可做如下改进：

作为优选的方案，在进料管伸入溴素汽化罐内部的部分上设有多个出液孔。

采用上述优选的方案，实现进料溴素的瞬间汽化。

作为优选的方案，出液孔的孔径大小直径在3mm～7mm之间，出液孔的开孔角度斜下45～90度之间。

采用上述优选的方案，出液孔的流速合理。

作为优选的方案，汽化加热器为刺刀式加热器，溴蒸汽过热器为列管式过热器。

采用上述优选的方案，有效实现溴素的瞬间汽化。

作为优选的方案，在溴素汽化罐内设有耐腐蚀填充体，耐腐蚀填充体分布于汽化加热器的位置。

采用上述优选的方案，大大的增加了换热面积，保证进入汽化加热器的溴素能够100％完全汽化。