[实用新型]一种碎硅片二次加料机构有效

专利信息
申请号: 202222128753.3 申请日: 2022-08-11
公开(公告)号: CN217922432U 公开(公告)日: 2022-11-29
发明(设计)人: 汪沛渊;许堃;李安君;吴超慧 申请(专利权)人: 宇泽半导体(云南)有限公司
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B15/02;C30B15/30
代理公司: 昆明合众智信知识产权事务所 53113 代理人: 卓红
地址: 675000 云南省楚雄彝族*** 国省代码: 云南;53
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 二次 加料 机构
【权利要求书】:

1.一种碎硅片二次加料机构,包括单晶炉(1),其特征在于:所述单晶炉(1)的一侧安装有送料壳(2),所述送料壳(2)的一端顶部安装有加料机(3),所述加料机(3)的内部安装有内胆(4),所述内胆(4)的内部设置有搅拌机构(5),所述送料壳(2)的内部设置有送料机构(6),所述搅拌机构(5)包括搅拌杆(51),所述搅拌杆(51)的底端安装有搅拌叶片(53),搅拌叶片(53)呈环形等间距排列设置。

2.根据权利要求1所述的碎硅片二次加料机构,其特征在于:所述搅拌杆(51)的顶部安装有限位块(52),所述限位块(52)位于加料机(3)的顶部上方,所述搅拌杆(51)通过轴承与加料机(3)的顶部转动连接。

3.根据权利要求1所述的碎硅片二次加料机构,其特征在于:所述加料机(3)的顶部可拆卸安装有加料盖(31)。

4.根据权利要求1所述的碎硅片二次加料机构,其特征在于:所述单晶炉(1)靠近送料壳(2)的一侧安装有闸板阀(11)。

5.根据权利要求1所述的碎硅片二次加料机构,其特征在于:所述送料机构(6)包括送料管(61),所述送料管(61)的内部设置有转轴(62),所述转轴(62)的外侧安装有螺旋送料片(63),所述送料管(61)的顶部靠近内胆(4)的底端处安装有进料口(65),所述转轴(62)的一端安装有送料电机(64)。

6.根据权利要求1所述的碎硅片二次加料机构,其特征在于:所述搅拌杆(51)的顶部设置有接口,接口的顶部安装有手动把手(54)。

7.根据权利要求1所述的碎硅片二次加料机构,其特征在于:所述搅拌杆(51)的顶部通过驱动电机(55)驱动转动。

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