[实用新型]振动传感器

说明书

本实用新型提供的振动传感器包括线路板和分别固定于所述线路板相对两侧的拾振结构和信号拾取组件，所述拾振结构包括两两相互独立的收容于第一振动腔内的第一拾振结构、收容于第二振动腔内的第二拾振结构以及收容于第三振动腔内的第三拾振结构，所述信号拾取组件包括第一MEMS麦克风、第二MEMS麦克风以及第三MEMS麦克风；所述第一拾振结构包括沿第一轴振动的第一振膜，所述第二拾振结构包括沿第二轴振动的第二振膜，所述第三拾振结构包括沿第三轴振动的第三振膜；所述第一轴、所述第二轴与所述第三轴相互垂直。本实用新型提供的振动传感器可同时拾取三个方向的振动信号，并将感应的振动信号转化为电信号，有效提升了振动传感器的灵敏度和带宽。

【技术领域】

本实用新型涉及传感器技术领域，尤其涉及一种将振动信号转化为电信号的振动传感器。

【背景技术】

振动传感器，用于将振动信号转化为电信号，在车载领域已有广泛应用。其中，车载主动降噪技术需要通过振动传感器拾取车身振动信号，在电路中进行反相，通过喇叭在车舱内播放，抵消外部传至车内的噪声，改善驾乘体验。

相关技术中，常用加速度计来拾取振动信号；虽然加速度计可以准确测量稳定的加速度信号，但主动降噪处理只关心变化的信号，对加速度的绝对数值并不关心；同时，加速度计通常难以快速响应，带宽有限，价格也比较昂贵。除加速度计外，相关技术中通过拾振结构将振动信号转化成变化的压强后在由麦克风拾取，但常规的拾振结构只能拾取一个方向的振动信号，其可以用作振动触发，但无法用于主动降噪，且只能利用一个腔体的压强变化，灵敏度较低，带宽较窄。

因此，实有必要提供一种新的振动传感器解决上述技术问题。

【实用新型内容】

本实用新型的目的在于提供一种灵敏度高且更大带宽的振动传感器。

为了达到上述目的，本实用新型提出一种振动传感器，所述振动传感器包括线路板以及分别固定于所述线路板相对两侧的拾振结构和信号拾取组件，所述拾振结构包括两两相互独立的第一振动腔、第二振动腔以及第三振动腔，所述拾振结构还包括收容于所述第一振动腔内的第一拾振结构、收容于所述第二振动腔内的第二拾振结构以及收容于所述第三振动腔内的第三拾振结构；

所述信号拾取组件包括与所述第一振动腔对应设置的第一MEMS麦克风、与所述第二振动腔对应设置的第二MEMS麦克风以及与所述第三振动腔对应设置的第三MEMS麦克风；

所述线路板上设有将所述第一振动腔与所述第一MEMS麦克风连通的第一通孔、将所述第二振动腔与所述第二MEMS麦克风连通的第二通孔以及将所述第三振动腔与所述第三MEMS麦克风连通的第三通孔；

所述第一拾振结构包括可在所述第一振动腔内沿第一轴振动的第一振膜，所述第二拾振结构包括可在所述第二振动腔内沿第二轴振动的第二振膜，所述第三拾振结构包括可在所述第三振动腔内沿第三轴振动的第三振膜；所述第一轴、所述第二轴与所述第三轴相互垂直。

优选的，所述第一拾振结构还包括固定于所述第一振膜的第一振动片，所述第一振动片包括固定于所述线路板的固定端以及自所述固定端延伸至所述第一振动腔内的悬臂端。

优选的，所述第一拾振结构还包括固定于所述第一振动片远离所述第一振膜一侧的第一质量块。

优选的，所述拾振结构还包括固定于所述线路板的支架以及盖设于所述支架的上盖，所述第一振动腔、所述第二振动腔以及所述第三振动腔均由形所述上盖与所述支架围设形成。

优选的，所述第一振膜固定于所述支架并将所述第一振动腔分隔为相互独立的第一上振动腔和第一下振动腔，所述第一通孔包括将所述第一上振动腔与所述第一MEMS麦克风连接的第一上连通孔以及将所述第一下振动腔与所述第一MEMS麦克风连通的第一下连通孔。