[实用新型]一种用于晶圆探针台的保温装置

说明书

一种用于晶圆探针台的保温装置，包括晶圆探针台，晶圆探针台的工作台的顶面开设有测试腔，测试腔中安装有晶圆盘支架，晶圆探针台内设有制冷器以及加热器，工作台上还设置有保温盖，保温盖覆盖于测试腔上且保温盖与工作台密封连接，保温盖上设置有温度监控装置，温度监控装置分别与制冷器以及加热器电性连接。当需要对特定环境的晶圆进行检测时，该装置保证测试环境温度的一致性和稳定性。

技术领域

本实用新型涉及集成电路测试领域，尤其涉及一种用于晶圆探针台的保温装置。

背景技术

晶圆探针台是半导体行业重要的检测装备之一，用于晶圆加工之后、封装工艺之前的晶圆测试环节，负责晶圆的输送与定位，使晶圆上的颗粒依次与探针台接触并逐个测试。在这个过程中，晶圆探针台可以将参数特性不符合要求的芯片记录下来，在进入后续工艺前予以剔除，从而大幅度降低制造成本。但是晶圆探针检测过程技术难度极大，而且晶圆检测对温度也有特殊的要求，有时候需要在 -40℃～125℃的环境下对晶圆进行检测，传统手动探针台由于测试方式的局限性，无法将测试空间封闭，导致晶圆测试时环境温度不均匀，无法满足测试需求。

实用新型内容

为了实现在-40℃～125℃的环境下对晶圆进行检测，保证测试环境的一致性，且保证测试环境为密封的状态，本实用新型采用以下技术方案：

一种用于晶圆探针台的保温装置，包括晶圆探针台，晶圆探针台的工作台的顶面开设有测试腔，测试腔中安装有晶圆盘支架，晶圆探针台内设有制冷器以及加热器，

工作台上还设置有保温盖，保温盖覆盖于测试腔上且保温盖与工作台密封连接，保温盖上设置有温度监控装置，温度监控装置分别与制冷器以及加热器电性连接。

具体的，工作台上沿着测试腔一圈开设有保护盖卡槽，保护盖卡槽上内贴设有硅胶垫，保温盖底面贴设有硅胶垫，保温盖卡设于保护盖卡槽内。

具体的，保护盖的壁面上开设有连接孔，连接孔的四周黏贴有硅胶垫。通过该孔，可以将测试腔内的一些连接数据线传输出去，且传输的过程中，数据线与硅胶垫是紧密接触的，可以有效避免腔内温度受到外界环境的干扰。

具体的，温度监控装置设置于保温盖内部，且检测测试腔内的环境温度，温度监控装置包括温度传感器、LED显示屏、单片机、蜂鸣器、第一继电器、第二继电器；单片机分别与温度传感器、蜂鸣器、LED显示屏以及第一继电器、第二继电器之间电性连接，第一继电器还与制冷器电性连接，第二继电器还与加热器电性连接。

具体的，温度传感器为DS18B20智能温度传感器。

具体的，单片机为AT89S51型单片机。

该装置的工作流程为：温度传感器检测测试腔内的温度，当温度过高时，温度传感器传输温度过高的信号至单片机，单片机通过控制第一继电器，使得制冷器开始工作，制冷器开始降温，直到温度传感器检测到合适的温度。当温度过低时，温度传感器传输温度过低的信号至单片机，单片机通过控制第二继电器，使得加热器开始工作，加热器开始加热，直到温度传感器检测到合适的温度。除此之外，由于

综上所述，本实用新型本装置具有以下优点：当对晶圆进行检测时，通过该装置保证测试环境温度的一致性和稳定性。

附图说明

图1是一种用于晶圆探针台的保温装置的侧视图；

图2是一种用于晶圆探针台的保温装置的俯视图；

附图标记：1制冷器；2保温盖；3加热器；4温度监控装置；5晶圆探针台； 6测试腔；7锁紧装置；8保护盖卡槽。

具体实施方式

下面结合图1以及图2对本实用新型做进一步说明。