[实用新型]一种半导体用湿电子化学品双工位半自动灌装机有效

专利信息
申请号: 202222088622.7 申请日: 2022-08-09
公开(公告)号: CN218465485U 公开(公告)日: 2023-02-10
发明(设计)人: 於婷;张磊;张悦;刘素华;孙炳良 申请(专利权)人: 芯越微电子材料(嘉兴)有限公司
主分类号: B67C3/28 分类号: B67C3/28;B67C3/22
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 314200 浙江省嘉兴*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 电子 化学品 双工 半自动 灌装
【说明书】:

本实用新型公开了一种半导体用湿电子化学品双工位半自动灌装机,包括控制端、净化区、吸取动力件以及净化灌装台,净化区设置至少两个出料口以及对应出料口数量设置的称重模块,将待灌装的装液容器放置在称重模块上,每个出料口的输出端对应一个称重模块,通过控制端输入灌装标准重量,并通过吸取动力件吸取对应重量的液体至装液容器中。本实用新型操作简单,易学会,且灌装重量一致,误差可以控制在±0.2%;灌装效率高,每小时可以灌装150‑300瓶,且产品颗粒度更低。

技术领域

本实用新型涉及一种灌装机,具体涉及一种半导体用湿电子化学品双工位半自动灌装机。

背景技术

半导体用的湿电子化学品属于精细化工领域,对化学品的洁净度和颗粒要求较高,要求灌装之后的成品颗粒非常低,0.5um直径的颗粒小于100个/ml。半导体用湿电子化学品灌装之前必须经过过滤器,传统的做法是通过手动开关来控制灌装重量。这种做法有几个弊端:一是灌装重量不一致容易引发客诉;二是灌装效率低,且工人劳动强度大;三是灌装环境差,灌装之后的成品的颗粒达不到要求。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是一种半导体用湿电子化学品双工位半自动灌装机,采用一种半自动化手段,可以有效提升效率,使得灌装重量一致,误差减小,且颗粒能够符合要求。

本实用新型是通过以下技术方案来实现的:一种半导体用湿电子化学品双工位半自动灌装机,包括控制端、净化区、吸取动力件以及净化灌装台,净化区设置至少两个出料口以及对应出料口数量设置的称重模块,将待灌装的装液容器放置在称重模块上,每个出料口的输出端对应一个称重模块,通过控制端输入灌装标准重量,并通过吸取动力件自容器(1)吸取对应重量的原料至装液容器中。

作为优选的技术方案,所述净化灌装台包括至少一个用于支撑吸取动力件用的支撑台,以及一个用于放置容器的区域,吸取动力件通过吸取管插入至容器内与桶内液体接触,吸取动力件输出端分设出与出料口数量对应的输出管道来连接每一个出料口,用于将容器内的原料自出料口输出至装液容器中。

作为优选的技术方案,吸取动力件采用定量自吸泵,其通过控制端控制吸取量。

作为优选的技术方案,吸取动力件的输出管道上均设置有高精度的过滤器,用于过滤掉液体中的杂质及颗粒。

作为优选的技术方案,所述控制端包括控制主机以及触控屏,触控屏端用于输入灌装的标准重量。

作为优选的技术方案,位于触控屏一侧的控制主机上还设置有多个控制按键,其中,多个控制按键包括开始灌装按键、急停按钮。

作为优选的技术方案,称重模块采用重量传感器以及称重支撑板,重量传感器设置在称重支撑板底部,装液容器放置在称重支撑板上,重量传感器的信号输出端反馈至控制主机端,定量自吸泵受控于控制主机。

本实用新型的有益效果是:一、本实用新型操作简单,易学会,只需要将装液容器放置在称重模块上即可,然后输入灌装重量按开始按键即可灌装;

二、本实用新型通过设定灌装重量,使得灌装重量一致,误差可以控制在±0.2%;

三、本实用新型灌装效率高,每小时可以灌装150-300瓶;

四、本实用新型配置有前置的过滤器,使得灌装的产品颗粒低,满足灌装需求。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的整体结构示意图。

具体实施方式

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