[实用新型]一种硅片提篮

权利要求书

1.一种硅片提篮，其特征在于：包括基框(1)；所述基框(1)具有多个硅片放置区(2)；每个硅片放置区(2)上均可拆卸连接有硅片放置篮(3)；所述基框(1)的中部设有连接部(4)；所述连接部(4)上固定有与清洁设备配合的夹持部(5)；所述夹持部(5)上设有提手(6)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片提篮，其特征在于：所述基框(1)通过横杆(1-1)和纵杆(1-2)分隔成四个硅片放置区(2)；所述连接部(4)上对应每个硅片放置区(2)处均对称设有卡钩(1-3)，两个卡钩(1-3)之间形成卡接部；所述硅片放置篮(3)的一端设有与卡接部配合的插接部(3-1)。

3.根据权利要求1或2所述的一种硅片提篮，其特征在于：每个硅片放置区(2)底部的两侧均设有用于支撑硅片放置篮(3)的支撑块(7)。

4.根据权利要求1所述的一种硅片提篮，其特征在于：所述连接部(4)包括镂空的支架；所述支架的底部与基框(1)固定连接，顶部与夹持部(5)固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种硅片提篮，其特征在于：所述夹持部(5)包括横梁(5-1)和纵梁(5-2)；所述横梁(5-1)对称设于连接部(4)的两侧；所述纵梁(5-2)设有两根，分别设于横梁(5-1)的两端，并用于连接两根横梁(5-1)；所述横梁(5-1)的两端的底部均设置呈勾状。

6.根据权利要求5所述的一种硅片提篮，其特征在于：所述两个纵梁(5-2)一端的内侧均设有接触柱(5-3)；并且两个接触柱(5-3)呈中心对称设置。

7.根据权利要求1所述的一种硅片提篮，其特征在于：所述基框(1)、连接部(4)、夹持部(5)以及提手(6)为一体成型结构。

8.根据权利要求1所述的一种硅片提篮，其特征在于：所述基框(1)由耐腐蚀材质制成。