[实用新型]一种多晶硅行业盐酸处理装置

说明书

本实用新型涉及多晶硅盐酸处理设备技术领域，具体是一种多晶硅行业盐酸处理装置，包括通过管道连接的盐酸进料系统、盐酸解析系统、氯化氢干燥系统和尾气洗涤系统；盐酸进料系统包括通过管道连接的卸料泵和若干个浓盐酸罐，每个浓盐酸罐的出料口通过浓盐酸输送泵与盐酸解析系统连接；盐酸解析系统包括喷射混合器、解析塔、氯化钙循环系统、氯化氢冷凝系统和除雾器，除雾器的氯化氢出气口与氯化氢干燥系统连接；尾气洗涤系统包括水洗塔和水洗循环冷却器。本实用新型能够实现对副产物中四氯化硅的利用，获得99.9995％高纯度氯化氢气体，降低了投资成本，对整个装置在后期多晶硅生产运行时，提供了有力的保障。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅盐酸处理设备技术领域，具体是一种多晶硅行业盐酸处理装置。

背景技术

随着中国多晶硅工业的快速发展，副产物的综合利用将变得非常重要，如不能有效解决，必将成为限制中国多晶硅工业发展的瓶颈。

传统方法是将副产物中的四氯化硅提纯，然后跟无水乙醇(或甲醇)利用酯化反应，在常温常压下制备硅酸乙酯(或硅酸甲酯)，但用量十分有限，而且有些还存在分离等困难，不能完全利用。

另外，多晶硅生产过程及多晶硅行业需要用到高纯度的氯化氢气体，如用合成工艺对原料气的要求较高，而且投资成本较大，如何在一套装置中提高副产物四氯化硅利用率的同时还能获得高纯度氯化氢气体成为目前急需解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种多晶硅行业盐酸处理装置，通过本实用新型的盐酸进料系统、盐酸解析系统、氯化氢干燥系统和尾气洗涤系统，能够实现对副产物中四氯化硅的利用，获得99.9995％高纯度氯化氢气体，还能实现尾气排放处理，解决了上述中四氯化硅处理的难题且降低了投资成本，对整个装置在后期多晶硅生产运行时，提供了有力的保障。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种多晶硅行业盐酸处理装置，包括通过管道连接的盐酸进料系统、盐酸解析系统、氯化氢干燥系统和尾气洗涤系统；

所述盐酸进料系统包括通过管道连接的卸料泵和若干个浓盐酸罐，每个所述浓盐酸罐的出料口通过浓盐酸输送泵与所述盐酸解析系统连接；

所述盐酸解析系统包括喷射混合器、解析塔、氯化钙循环系统、氯化氢冷凝系统和除雾器，所述喷射混合器的一侧进液端与所述浓盐酸输送泵连接，所述喷射混合器的底部进液端与所述氯化钙循环系统连接，另一侧出液端与所述解析塔连接，所述解析塔的顶部出气口与所述氯化氢冷凝系统连接，所述氯化氢冷凝系统与所述除雾器连接，所述除雾器的氯化氢出气口与所述氯化氢干燥系统连接；

所述尾气洗涤系统包括水洗塔和水洗循环冷却器，所述水洗塔上端一侧设有尾气进气口，所述尾气进气口分别与所述浓盐酸罐的尾气出口和所述除雾器的尾气出口连接，所述水洗塔下端一侧进液口连接有吸收液罐，另一侧出液口通过水洗循环泵与所述水洗循环冷却器连接，所述水洗循环冷却器与所述水洗塔上端进液口连接。

进一步的，所述氯化氢干燥系统包括四氯化硅干燥塔和四氯化硅循环冷却器，所述四氯化硅干燥塔的下端一侧从上至下依次连接有氯化氢进气管道和四氯化硅溶液进液管道，所述四氯化硅干燥塔的底部出液口通过四氯化硅循环泵组与所述四氯化硅循环冷却器连接，所述四氯化硅循环冷却器与所述四氯化硅干燥塔的上端进液喷嘴连通，所述四氯化硅干燥塔的顶部连接有氯化氢出气管道，所述氯化氢出气管道上连接有尾气管道，所述尾气管道与所述尾气进气口连接。

进一步的，所述氯化钙循环系统包括通过管道依次连接的氯化钙储存罐、氯化钙配制罐和提浓塔，所述提浓塔的出液口通过氯化钙循环泵组与所述喷射混合器连接，所述提浓塔的一侧进液口与所述解析塔的下端一侧出液口通过管道连接。