[实用新型]一种三氯氢硅冷氢化生产系统

权利要求书

1.一种三氯氢硅冷氢化生产系统，其特征在于：包括电加热器（2）、流化床反应器（3）、第一级换热器（4）、第二级换热器（5）和分离器（6），电加热器（2）上出料口通过混合气体管（7）与流化床反应器（3）上进料口连接，流化床反应器（3）上混合气出口通过混合气管（11）与第一级换热器（4）连接，第一级换热器（4）与第二级换热器（5）连接，第二级换热器（5）通过输送管（13）与分离器（6）连接，分离器（6）连接有洗涤塔（1），电加热器（2）、流化床反应器（3）、第一级换热器（4）、第二级换热器（5）、分离器（6）及洗涤塔（1）之间形成三氯氢硅合成及纯化的连续通路；

所述混合气体管（7）上连接有高纯氯化氢进气管Ⅰ（8），高纯氯化氢进气管Ⅰ（8）一端与混合气体管（7）连通，另一端连接有压缩机（9），压缩机（9）连接有高纯氯化氢气源罐（10）；

所述混合气管（11）上连接有高纯氯化氢进气管Ⅱ（12），高纯氯化氢进气管Ⅱ（12）一端与混合气管（11）连通，另一端与高纯氯化氢气源罐（10）连接；

所述输送管（13）上连接有高纯氯化氢进气管Ⅲ（14），高纯氯化氢进气管Ⅲ（14）一端与输送管（13）连通，另一端与高纯氯化氢气源罐（10）连接。

2.根据权利要求1所述的三氯氢硅冷氢化生产系统，其特征在于：所述流化床反应器（3）连接有硅粉进料罐（15），电加热器（2）连接有四氯化硅/氢气汽化器（16）。

3.根据权利要求1所述的三氯氢硅冷氢化生产系统，其特征在于：所述压缩机（9）至少两个，压缩机（9）之间呈并联设置。

4.根据权利要求1所述的三氯氢硅冷氢化生产系统，其特征在于：所述高纯氯化氢进气管Ⅰ（8）为316L材质的高纯氯化氢进气管Ⅰ（8），高纯氯化氢进管Ⅱ为316L材质的高纯氯化氢进气管Ⅱ（12），高纯氯化氢进管Ⅲ为316L材质的高纯氯化氢进气管Ⅲ（14）。

5.根据权利要求1所述的三氯氢硅冷氢化生产系统，其特征在于：所述高纯氯化氢气源罐（10）设置在多晶硅生产线中的还原工段。

6.根据权利要求1所述的三氯氢硅冷氢化生产系统，其特征在于：所述分离器（6）为旋风分离器（6）。

7.根据权利要求1或6所述的三氯氢硅冷氢化生产系统，其特征在于：所述分离器（6）为两个，分离器（6）之间呈串联设置。

8.根据权利要求7所述的三氯氢硅冷氢化生产系统，其特征在于：所述分离器（6）出渣口连接有废触体罐（17），废触体罐（17）与流化床反应器（3）连接。

9.根据权利要求1所述的三氯氢硅冷氢化生产系统，其特征在于：所述洗涤塔（1）排液口连接有渣浆收集罐（18）。