[实用新型]一种划片机真空常开系统

说明书

本实用新型涉及一种划片机真空常开系统，包括：真空吸附，气源通过第一管路经真空破坏单元气阀与所述真空吸附连通；第一真空发生器，所述真空吸附通过第二管路连通到所述第一真空发生器的真空端口，气源通过第三管路经真空单元气阀与所述第一真空发生器相连通；第二真空发生器，所述第二真空发生器在划片机断电时外接于气源与真空吸附之间，所述第二真空发生器的真空端口通过第四管路连通到所述真空吸附，所述第二真空发生器另一端通过第五管路经截止阀连通至气源。本实用新型在断电后仍能形成真空，保证对半导体材料吸附的稳定，降低划片机断电后半导体材料的报废率。

技术领域

本实用新型涉及划片机技术领域，尤其是指一种划片机真空常开系统。

背景技术

划片机，顾名思义是对太阳能电池板、薄金属片等的划切加工。真空吸附是划片机的重要组成部分，用于固定待加工的材料，如果待加工的材料不能得到有效固定则会严重影响加工质量。

目前，真空吸附主要通过真空发生器接通压缩空气形成负压实现。而真空的通断通过在压缩空气管路上增加气阀控制真空发生器进气的通断实现。在生产过程中如果划片机突然断电，气阀停止工作，真空气路断开，划片机正在切割的半导体材料存在损坏报废的风险。

现有技术中，通过增加外接电源UPS，在设备突然断电时由外接电源为设备供电继续维持工作，待维修电源后重新供电工作。但如果长时间断电，外接电源电量耗尽后，设备便无法长时间维持合适真空，半导体材料依旧存在报废风险。

实用新型内容

为此，本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术中划片机突然断电导致真空气路断开，使得正在划切的半导体材料不能得到有效固定的缺陷，提供一种真空常开系统，即使设备断电，也可以实现常开真空的效果。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种划片机真空常开系统，包括：

真空吸附，气源通过第一管路经真空破坏单元气阀与所述真空吸附连通；

第一真空发生器，所述真空吸附通过第二管路连通到所述第一真空发生器的真空端口，气源通过第三管路经真空单元气阀与所述第一真空发生器相连通；

第二真空发生器，所述第二真空发生器在划片机断电时外接于气源与真空吸附之间，所述第二真空发生器的真空端口通过第四管路连通到所述真空吸附，所述第二真空发生器另一端通过第五管路经截止阀连通至气源。

在本实用新型的一个实施例中，所述第四管路连接至所述第二管路上，所述第一真空发生器与真空吸附之间设置有第一单向阀，所述第一单向阀位于所述第一真空发生器与第四管路之间的第二管路上。

在本实用新型的一个实施例中，所述第二真空发生器与真空吸附之间的第四管路上设置有第二单向阀。

在本实用新型的一个实施例中，所述第一管路连接至所述第二管路上，所述第一管路与真空吸附之间的第二管路上设置有压力表。

在本实用新型的一个实施例中，所述真空破坏单元气阀与压力表之间的所述第一管路上设置有真空破坏节流阀。

在本实用新型的一个实施例中，所述真空破坏节流阀并联有第三单向阀。

本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

本实用新型所述的划片机真空常开系统通过外接第二真空发生器，使得划片机能够在断电后仍能形成真空，保证对半导体材料吸附的稳定，降低划片机断电后半导体材料的报废率。

附图说明

为了使本实用新型的内容更容易被清楚的理解，下面根据本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中

图1是本实用新型整体结构示意图。