[实用新型]一种防着板固定结构

说明书

本申请提供一种防着板固定结构，所述防着板设置在主腔体内，侧壁防着板上设置有通孔，侧壁防着板的顶部设置有多个葫芦状通孔、底端设置有多个开口式通孔，主腔体内壁上设置有挂钩并且挂钩的位置与通孔的位置对应，所述挂钩放入葫芦状通孔和开口式通孔内使得侧壁防着板完成安装；所述开口式通孔的高度小于主腔体的底部防着板的高度，主腔体的顶部防着板具有周缘向下延伸的围板，围板底面的高度小于葫芦状通孔底端的高度，使得防止通孔和挂钩被镀膜。

技术领域

本实用新型涉及真空蒸镀机技术领域，更具体地，涉及一种防着板固定结构。

背景技术

真空蒸镀一般包括设置在主腔体下方的坩埚、以及设置在坩埚上方用来承载被镀膜工件的伞状治具，伞状治具固定被镀膜工件，坩埚内具有蒸镀源，蒸镀源通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，使得蒸镀源内的膜料气化，以扇形的结构向上蒸发，蒸镀材料分子沉积到被镀膜工件上形成薄膜(镀膜)。在此过程中，有很多汽化的膜料会镀膜到腔体内壁上。当腔体内壁上的镀膜层累积过多时，腔体内壁上的膜料会脱离形成颗粒释放到腔体中，从而污染被镀膜工件产品。因此，现有技术在腔体内壁上设置防着板，以避免膜料分子接触到腔室的内壁，并且定期或者不定期更换防着板，防止长时间使用后防着板上的镀膜层释放而污染被镀膜工件产品。

由于需要经常更换防着板，方便安装和拆卸的防着板固定结构尤为重要，传统的固定结构，采用螺丝和螺孔固定防着板，但在蒸镀的过程中，螺丝及螺丝与螺孔的连接处会被蒸镀上镀膜，螺丝变厚，并且镀膜的粘附性强，防着板拆卸的时候很困难。为了改善上述问题，现有技术如中国专利CN214168110U，公开了一种防着板固定结构，主腔体侧壁的防着板上设计了葫芦状通孔用于与腔体内壁上的挂钩配合，一块防着板的中部设置了两套葫芦状通孔和挂钩，利用自身重力实现安装，在葫芦状通孔的外侧设置的凸出板用于防止该通孔和挂钩被镀膜。但是，第一方面，安装时需要挂钩对齐两个葫芦状通孔，但是由于凸出板遮挡住了葫芦状通孔，在安装时看不见通孔的位置，相当于盲装，不太好安装。第二方面，凸出板为垂直的U形，凸出的高度为8-12mm，会占据主腔体内的空间。

有鉴于此，本实用新型提供一种防着板固定结构，非常方便安装和拆卸防着板，不占据主腔体内的空间，并且结构简单。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种防着板固定结构，非常方便安装和拆卸防着板，不占据主腔体内的空间，并且结构简单。

本申请的防着板固定结构，保留了利用防着板自身重力进行固定的设计理念，但是对结构和形状进行了改进。改进点在于，1.在一块防着板的顶部和底端各设置通孔，主腔体内壁上的挂钩与通孔位置配合，其中，顶部的通孔为葫芦状通孔，底端的通孔为开口式通孔。不需要举着防着板来对齐挂钩和通孔，将防着板的底端倾斜搁在开口式通孔内，扶正防着板自动实现顶部的挂钩与葫芦状通孔的对齐。2.遮挡挂钩和通孔不再采用U形凸出板，防着板底端的开口式通孔和挂钩，采用真空蒸镀机主腔体内本身就需要设置的底部水平放置的防着板来遮挡；防着板顶部的葫芦状通孔和挂钩，在主腔体顶部的防着板上加装一圈围板来遮挡。安装时先安装侧壁的防着板再安装顶部和底部的防着板，拆卸时先拆卸顶部和底部的防着板再拆卸侧壁的防着板，起遮挡作用的部件不会挡住侧壁防着板上的通孔，非常好安装和拆卸。本申请人在此基础上完成了本申请。

一种防着板固定结构，所述防着板设置在主腔体内，侧壁防着板上设置有通孔1，其特征在于，侧壁防着板的顶部设置有多个葫芦状通孔11、底端设置有多个开口式通孔12，主腔体内壁上设置有挂钩2并且挂钩2的位置与通孔1的位置对应，所述挂钩3放入葫芦状通孔11和开口式通孔12内使得侧壁防着板完成安装；所述开口式通孔12的高度小于主腔体的底部防着板的高度，主腔体的顶部防着板具有周缘向下延伸的围板3，围板3底面的高度小于葫芦状通孔11底端的高度，使得防止通孔1和挂钩2被镀膜。

在一些实施方式中，所述多个葫芦状通孔11设置为一排，两个相邻的葫芦状通孔11之间具有间距，多个开口式通孔12设置为一排，两个相邻的开口式通孔12之间具有间距。