[实用新型]一种用于零件表面三维形貌还原及缺陷检测的装置

权利要求书

1.一种用于零件表面三维形貌还原及缺陷检测的装置，其特征在于：包括DMD投影单元(3)、准直光透镜组(4)、物镜(7)、XYZ载物台(8)、远心镜头(9)、探测器(10)、计算机(11)，工业零件放置于XYZ载物台(8)之上，DMD投影单元(3)准直光透镜组(4)、全反射棱镜(5)和物镜(7)向工业零件表面投影正弦光栅条纹，并由DMD投影单元(3)产生同步信号触发探测器(10)获取由工业零件表面调制后的变形光栅图像，探测器(10)通过远心镜头(9)采集图像信息并传输至计算机(11)中处理并进行三维形貌重建。

2.根据权利要求1所述的一种用于零件表面三维形貌还原及缺陷检测的装置，其特征在于：还包括光源(1)、均匀光透镜组(2)、全反射棱镜(5)、压电位移台(6)，其中DMD投影单元(3)与物镜(7)的焦面位置共轭。

3.根据权利要求1所述的一种用于零件表面三维形貌还原及缺陷检测的装置，其特征在于：所述XYZ载物台(8)固定于底座的中位线的位置,工业零件放置于XYZ载物台(8)上。

4.根据权利要求1所述的一种用于零件表面三维形貌还原及缺陷检测的装置，其特征在于：DMD投影单元(3)使用空间光调制器代替，光源(1)发射的光线通过均匀光透镜组(2)并以特定角度入射到DMD投影单元(3)中，并由DMD投影单元(3)动态调制生成正弦光栅图像然后通过准直光透镜组(4)、全反射棱镜(5)、物镜(7)后投影在工业零件表面。

5.根据权利要求4所述的一种用于零件表面三维形貌还原及缺陷检测的装置，其特征在于：特定角度为66度。

6.根据权利要求1所述的一种用于零件表面三维形貌还原及缺陷检测的装置，其特征在于：所述DMD投影单元(3)、准直光透镜组(4)、全反射棱镜(5)、物镜(7)、XYZ载物台(8)依次排布使光路呈现共轭关系。

7.根据权利要求2所述的一种用于零件表面三维形貌还原及缺陷检测的装置，其特征在于：所述DMD投影单元(3)、准直光透镜组(4)以及全反射棱镜(5)位于同一水平线上。