[实用新型]一种框架切片机

说明书

本实用新型提供了一种框架切片机，属于机械技术领域。本切片机，包括底板，底板上安装有箱体，箱体上具有过料通道，底板上通过若干支撑脚固定有环形轨道，且环形轨道穿过过料通道，环形轨道上滑动连接有若干滑座，且滑座呈均匀分布，滑座上水平安装有导杆一，导杆一上滑动连接有活动座一，活动座一与滑座之间还具有支撑弹簧一，活动座一上水平安装有导杆二，且导杆二与导杆一相互垂直，导杆二上滑动连接有活动座二，活动座二与活动座一之间还具有支撑弹簧二，活动座二上安装有圆形定位台，圆形定位台上开设有用于定位晶圆周转板的定位槽，箱体上部设有切割机构，箱体下部设有对中夹紧机构，对中夹紧机构包括安装板和气缸一。

技术领域

本实用新型属于机械技术领域，涉及一种切片机，特别是一种框架切片机。

背景技术

经过贴膜设备对晶圆周转板上的晶圆进行贴膜后，晶圆周转板上多余的膜材需要进行切割，将膜材切割成与晶圆相同的圆形，再进入下一步工序中对晶圆进行冲洗烘干等操作，因此，设计出一种框架切片机是很有必要的。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种框架切片机，该切片机具有操作简单的特点。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种框架切片机，包括底板，其特征在于，所述底板上安装有箱体，箱体上具有过料通道，底板上通过若干支撑脚固定有环形轨道，且环形轨道穿过过料通道，环形轨道上滑动连接有若干滑座，且滑座呈均匀分布，滑座上水平安装有导杆一，导杆一上滑动连接有活动座一，活动座一与滑座之间还具有支撑弹簧一，活动座一上水平安装有导杆二，且导杆二与导杆一相互垂直，导杆二上滑动连接有活动座二，活动座二与活动座一之间还具有支撑弹簧二，活动座二上安装有圆形定位台，圆形定位台上开设有用于定位晶圆周转板的定位槽，箱体上部设有切割机构，箱体下部设有对中夹紧机构，对中夹紧机构包括安装板和气缸一，安装板固定在箱体下部，安装板一端水平固定有导轨一，导轨一上滑动连接有滑块一，滑块一和联动杆一的中部相连，联动杆一的端部竖直固定有对中柱一，安装板另一端水平固定有导轨二，导轨二上滑动连接有滑块二，滑块二和联动杆二的中部相连，联动杆二的端部竖直固定有对中柱二，安装板中部转动安装有带轮一和带轮二，带轮一与带轮二之间套设有同步带，联动杆一的中部通过连接件一和同步带一侧相连，联动杆二的中部通过连接件二和同步带另一侧相连，气缸一安装在安装板一端，且气缸一的活塞杆水平设置，气缸一的活塞杆端部通过传动件和连接件一相连，底板上还具有能使滑座移动的驱动结构。

本实用新型的工作原理如下：人工将晶圆周转板放置在圆形定位台上的定位槽内，滑座带动晶圆周转板在环形轨道上移动至箱体内，对中夹紧机构将圆形定位台对中并夹紧固定位置后，切割机构对晶圆周转板上多余的膜材进行切割，切割完成后滑座带动晶圆周转板从箱体上的过料通道内传出，人工取下晶圆周转板，操作简单。

气缸一通过传动件带动连接件一移动，连接件一带动同步带在带轮一和带轮二之间传动，同步带带动连接件二与连接件一往相反方向移动；进行对中夹紧工作时，连接件一和连接件二分别带动联动杆一和联动杆二相向移动，对中柱一和对中柱二同时向中间靠近，将圆形定位台对中夹紧，在支撑弹簧一和支撑弹簧二作用下，活动座一和活动座二能分别在导杆一和导杆二上滑动，使圆形定位台能小幅度移动，使晶圆周转板上的晶圆能准确对准切割机构，避免环形轨道带动滑座移动至切割位置时产生的位置误差。

所述圆形定位台上还具有取放口。

采用以上结构，便于取放晶圆周转板。

所述驱动结构包括驱动带、若干导轮和伺服电机一，导轮转动安装在底板上，驱动带套设在导轮上，滑座和驱动带相连，伺服电机一安装在底板上，伺服电机一的输出轴和其中一个导轮相连。

采用以上结构，伺服电机一带动导轮转动，导轮带动驱动带在多个导轮上来回转动，驱动带带动滑座移动。