[实用新型]干燥装置

说明书

本实用新型涉及的干燥装置包括：腔体；工作台，位于所述腔体内；支承部，贯通所述工作台；以及基板，位于所述支承部上，在干燥工序中，所述工作台被加热，在所述干燥工序中，所述基板与所述工作台被间隔开。

技术领域

本公开涉及干燥装置。

背景技术

基于溶液的印刷方式可以在不经过现有方式中所要求的真空、蚀刻等复杂工序的情况下直接进行大面积图案化。因此，基于溶液的印刷方式广泛地使用于形成液晶显示装置(Liquid Crystal Display)的滤色器或发光元件的有机层。基于溶液的印刷方式将作为溶解了有机物质的溶液的墨液喷出至期望的位置来形成有机层。喷出的墨液因溶剂干燥而形成有机层。

发光元件是自发光元件，其在电力消耗、响应速度、视角和明暗对比方面是出色的。发光元件包括有机层和电极，其中，有机层包括生成激子来发光的发光层。发光元件的有机层可以通过基于溶液的印刷方式形成。然而，在通过基于溶液的印刷方式形成有机层的情况下，有机层的厚度形成得不均匀，表面会形成为凹或凸。这种凹或凸的表面会成为在像素的发光区域内以不均匀的亮度发光、元件的寿命缩短等降低元件的可靠性的要因。

实用新型内容

各实施例用于提供可以形成均匀的层的干燥装置。

本实施例涉及的干燥装置包括：腔体；工作台，位于所述腔体内；支承部，贯通所述工作台；以及基板，位于所述支承部上，在干燥工序中，所述工作台被加热，在所述干燥工序中，所述基板与所述工作台被间隔开。

在所述基板上部可以涂布有物质层。

可以通过喷墨方法涂布所述物质层。

所述物质层可以是有机层。

所述物质层可以是构成发光元件的层中的一个以上的层。

所述基板与所述工作台之间的隔开距离可以是2mm至150mm。

所述基板与所述腔体之间的隔开距离可以是2mm至150mm。

所述基板与所述工作台之间的隔开距离和所述基板与所述腔体之间的隔开距离的比率可以为1:75至1:1。

在所述干燥工序中，比起所述基板与所述工作台之间的隔开距离，所述基板与所述腔体之间的隔开距离可以更大。

在所述干燥工序中，在所述工作台下降时，所述基板与所述工作台可以被间隔开。

在所述干燥工序中，在所述支承部上升时，所述基板与所述工作台可以被间隔开。

在所述干燥工序中，所述工作台与所述基板可以不直接接触。

在所述干燥工序中产生的干燥气体可以朝向所述基板的上部区域和下部区域形成流动。

所述腔体可以包括排出所述干燥气体的排气口。

所述干燥装置还可以包括：上部板，位于所述基板的上部与所述腔体之间。

在所述干燥工序中，所述上部板可以被加热。

所述上部板与所述基板可以不直接接触。

(实用新型效果)

根据各实施例，提供可以形成均匀的层的干燥装置。

附图说明

图1简单示出本实施例涉及的干燥装置的结构。

图2简单示出在本实施例涉及的干燥装置中物质层被干燥的构成。

图3示出基板与工作台直接接触的干燥装置。

图4示出在图3的干燥装置中物质层被干燥的构成。