[实用新型]一种高效液冷半导体激光器侧泵模块

说明书

本实用新型公开了一种高效液冷半导体激光器侧泵模块，涉及半导体激光器侧泵技术领域，包括依次连接的进液板、若干个半导体激光器侧泵单元、出液板，所述半导体激光器侧泵单元包括热沉、若干个半导体激光器、若干个金属连接块，所述热沉开设有若干个流通口，热沉腔体内部设置有导流板，进液板、出液板均仅在面向半导体激光器侧泵单元的一侧设置流通口；所述热沉的两侧均设置有流通口；进液板、出液板的流通口的位置和热沉两侧的流通口的位置相同；导流板包括圆台状导流板和倒圆台状导流板，圆台状导流板和倒圆台状导流板交错设置。本实用新型通过交错设置的导流板对流入热沉的制冷工质进行导流，形成稳定流场，提高制冷效率以及输出光斑的均匀性。

技术领域

本实用新型涉及半导体激光器侧泵技术领域，更具体的说是涉及一种高效液冷半导体激光器侧泵模块。

背景技术

半导体激光器具有体积小、重量轻、可靠性高、使用寿命长、成本低的优点，目前已经广泛应用于国民经济的各个领域，比如半导体激光泵浦固体激光器或光纤激光器，医疗美容以及工业加工等领域。在半导体激光器作为泵浦源的应用中，目前商业化的侧泵模块常采用半导体激光器呈正三角、正五角、正七角等形式分布于晶体棒周围，侧泵模块多采用水平阵列半导体激光器沿晶体棒轴向排布的方式。

目前，半导体侧泵模块的一个重要技术问题为散热冷却问题，目前常用的冷却方法有传导冷却和液体冷却方法。传导冷却方法是采用高导热性能的金属材料或者其他材料作为导热介质，通过直接接触的方式来散热，这种方式散热能力有限，不适用于大功率半导体激光器。液体冷却方法通常为通过绝缘水冷板对多个激光器单元进行水冷，绝缘水冷板的侧面设有呈直线设置且相互平行的进水通道和出水通道，进水通道上沿进水通道的长度方向设有多个出水孔，出水通道上沿出水通道的长度方向设有多个入水孔，出水孔和入水孔成对设置，每对出水孔和入水孔对应一个激光器单元，激光器单元上设有两个流通孔。这种液体冷却方法相比传导冷却型冷却效果大大得到了提升，但是这种方法由于水流方式的影响，导致液冷效果较差，且每个位置的液冷效果不均匀，影响光斑的均匀性。

因此，如何提高液冷效果，增强装置液冷的均匀性，是本领域技术人员亟需解决的问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种高效液冷半导体激光器侧泵模块。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种高效液冷半导体激光器侧泵模块，包括依次连接的进液板、若干个半导体激光器侧泵单元、出液板，所述半导体激光器侧泵单元包括热沉、若干个半导体激光器、若干个金属连接块，所述热沉开设有若干个流通口，热沉腔体内部设置有导流板。

本实用新型通过设置导流板，不仅增强了液冷效果，提高了热沉的散热能力，热交换效率更高，并且使装置每个位置的液冷效果更加均匀，为输出光斑的均匀性提供了保障。

可选的，所述热沉为环状热沉，所述半导体激光器、金属连接块设置在所述环状热沉的内壁上，以使半导体激光器发出的激光光束均匀的汇集在环状热沉的中心位置。

可选的，所述环状热沉的内壁设置有与所述半导体激光器一一对应的安装平台，相邻的安装平台之间设置有贯通环状热沉内壁至外壁的安装孔，用于将金属连接块以机械连接的方式固定在所述环状热沉上，充分对半导体激光器进行降温处理。

可选的，所述进液板、出液板、热沉上均设置有若干个位置相对应的定位孔，所述进液板上设置有进液口，所述出液板上设置有出液口。

可选的，所述进液板、出液板均仅在面向半导体激光器侧泵单元的一侧设置流通口；所述热沉的两侧均设置有流通口；所述进液板、出液板的流通口的位置和热沉两侧的流通口的位置相同，以使制冷工质流通。

可选的，所述流通口等间距环状设置，能够使制冷工质在热沉内的流场更加均匀。