[实用新型]一种表面声波滤波器芯片有效
| 申请号： | 202221641746.7 | 申请日： | 2022-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN218103094U | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 樊永辉;张汪根;许明伟;樊晓兵 | 申请（专利权）人： | 深圳市汇芯通信技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/64 | 分类号： | H03H9/64 |
| 代理公司： | 深圳市博锐专利事务所 44275 | 代理人： | 欧阳燕明 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区华富街道莲*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 表面 声波 滤波器 芯片 | ||
1.一种表面声波滤波器芯片，其特征在于，包括衬底、氮化铝压电层、第一芯片叉指换能器和第二芯片叉指换能器；
所述衬底设置于所述氮化铝压电层的一侧；
所述第一芯片叉指换能器和第二芯片叉指换能器设置于所述氮化铝压电层远离所述衬底的一侧；
所述第一芯片叉指换能器和第二芯片叉指换能器结构不同。
2.根据权利要求1所述的一种表面声波滤波器芯片，其特征在于，所述第一芯片叉指换能器的节距为2um-4um、指宽为0.5um-1um、间隔为0.5um-1um、声孔径为2um-16um和叉指对数为10-100；
所述第二芯片叉指换能器的节距为0.8um-1.6um、指宽为0.2-0.4um、间隔为0.2-0.4um、声孔径为2um-16um和叉指对数为20-200。
3.根据权利要求1所述的一种表面声波滤波器芯片，其特征在于，所述氮化铝压电层设置有隔离带；
所述第一芯片叉指换能器和第二芯片叉指换能器分别设置于所述隔离带的两侧。
4.根据权利要求3所述的一种表面声波滤波器芯片，其特征在于，所述第一芯片叉指换能器和第二芯片叉指换能器平行布置；
所述第一芯片叉指换能器与所述第二芯片叉指换能器之间设置所述隔离带。
5.根据权利要求1所述的一种表面声波滤波器芯片，其特征在于，还包括反射栅；
所述反射栅分别设置于所述第一芯片叉指换能器的两侧，以及所述第二芯片叉指换能器的两侧。
6.根据权利要求1所述的一种表面声波滤波器芯片，其特征在于，还包括第一引出电极和第二引出电极；
所述第一引出电极设置于所述第一芯片叉指换能器的两侧；
所述第二引出电极设置于所述第二芯片叉指换能器的两侧。
7.根据权利要求6所述的一种表面声波滤波器芯片，其特征在于，还包括第一焊盘和第二焊盘；
所述第一焊盘设置于所述第一引出电极远离所述氮化铝压电层的一侧；
所述第二焊盘设置于所述第二引出电极远离所述氮化铝压电层的一侧。
8.根据权利要求1所述的一种表面声波滤波器芯片，其特征在于，还包括保护层；
所述保护层覆盖所述衬底、氮化铝压电层、第一芯片叉指换能器和第二芯片叉指换能器。
9.根据权利要求1所述的一种表面声波滤波器芯片，其特征在于，还包括缓冲层；
所述缓冲层设置于所述氮化铝压电层与所述衬底之间。
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