[实用新型]一种通过环型治具改善条状颗粒的甩干机

说明书

本实用新型涉及硅片清洗技术领域。一种通过环型治具改善条状颗粒的甩干机，包括一甩干机主体，甩干机主体包括甩干机腔体和一盖板，甩干机腔体的上方设有一环型治具，环型治具通过螺丝固定在甩干机腔体的上方，盖板的下表面设有一圈密封硅胶，密封硅胶的外径与环型治具的外径一致；密封硅胶上设有一周向排布的凹槽，凹槽的开口朝向盖板的中心轴线，凹槽与环型治具的外边缘卡接；环型治具是由不锈钢制成的治具，且环型治具的外径为650.6mm，环型治具的内径为580mm，环型治具的厚度为3mm；环型治具的上表面设有八个等间距排布的安装孔。盖子下降时凹槽正好压在环形治具下，增加了密封性能，通过生产实验，增加环形治具后甩干的硅片，条状颗粒消失。

技术领域

本实用新型涉及硅片清洗领域，具体涉及一种通过环型治具改善条状颗粒的甩干机。

背景技术

抛光片清洗后放入甩干机甩干，在甩干机高速旋转产生的引力下，将水迹吸入甩干机腔体内，水迹吸附在硅片上，被旋转力拉长成一条直线颗粒不良，外观检查命名为有条状颗粒。

实用新型内容

针对现有技术存在的问题，本实用新型提供一种通过环型治具改善条状颗粒的甩干机，以解决上述至少一个技术问题。

本实用新型的技术方案是：一种通过环型治具改善条状颗粒的甩干机，包括一甩干机主体，其特征在于，所述甩干机主体包括甩干机腔体和一盖板，所述甩干机腔体的上方设有一环型治具，所述环型治具通过螺丝固定在所述甩干机腔体的上方，所述盖板的下表面设有一圈密封硅胶，所述密封硅胶的外径与所述环型治具的外径一致；

所述密封硅胶上设有一周向排布的凹槽，所述凹槽的开口朝向所述盖板的中心轴线，所述凹槽与所述环型治具的外边缘卡接；

所述环型治具是由不锈钢制成的治具，且所述环型治具的外径为650.6mm，所述环型治具的内径为580mm，所述环型治具的厚度为3mm；

所述环型治具的上表面设有八个等间距排布的安装孔，且所述安装孔的孔径为5.5mm。

环形治具平稳的镶合在甩干机平面上，当机械手从洗净机槽体带入片盒滴水时，被环形治具阻挡在外周，密封硅胶用于密封镶嵌在圆形盖子四周，当盖子下降时凹槽正好压在环形治具下，增加了密封性能，通过生产实验，增加环形治具后甩干的硅片，条状颗粒消失，证明这种增加甩干机环型治具的方法有效可行。

进一步优选，所述环型治具的上表面自环型治具的中央向外倾斜。

本实用新型通过优化了环型治具的结构，在不改变环型治具厚度的同时使环型治具产生高度差从而能够使盖子下降后压紧效果更好。

进一步优选，所述安装孔上固定有平头螺栓，所述平头螺栓的顶部不高于所述安装孔的开口。

本实用新型通过沉孔能够确保环型治具表面光滑。

进一步优选，所述环型治具的上表面呈镜面结构。

进一步优选，所述环型治具的环宽在35-40mm之间。根据不同的环宽能够提供不同的压紧效果，并且对环宽做了限定为了防止盖板无法合上。

进一步优选，所述安装孔沿着所述环型治具的中心轴线呈轴对称排布。本实用新型通过八个安装孔能够更好的起到固定效果。

进一步优选，所述盖板的中央设有一呈拱形的透明视窗，所述透明视窗的下表面设有一圆形限位槽，所述密封硅胶固定在所述圆形限位槽的内壁。

本实用新型通过在盖板上增加了透明视窗可以在使用时观察环型治具的工作效果。

附图说明

图1是本实用新型环型治具的结构示意图；

图2是本实用新型盖板的部分结构剖视图。