[实用新型]一种偏摆机构

说明书

本实用新型提出了一种偏摆机构，包括纵向安装臂和第一驱动机构，所述纵向安装臂上固定有转动座，所述转动座上可转动地安装有转动臂，所述转动臂用于安装涂覆阀，所述转动座上设有转轴安装孔，所述转轴安装孔中设有转轴，所述转动臂上设有安装口，且所述安装口中设有轴承组件，所述轴承组件的外圈与所述转动臂同步运动，所述轴承组件的内圈与所述转轴同步运动；所述第一驱动机构用于驱动所述转动臂转动，所述安装孔中设有顶紧件，所述顶紧件用于对所述轴承组件的内圈进行挤压。通过在安装孔中增加设置顶紧件来对轴承组件的内圈进行顶紧，从而能够避免轴承组件的活动，进而能够有效地避免转动臂发生活动，具有精度高的优点。

技术领域

本实用新型涉及电路板表面处理设备领域，具体涉及一种偏摆机构。

背景技术

在集成电路领域中，设备的精度对集成电路的影响很大，例如在涂覆阀在对集成电路涂覆时，如果偏摆机构的零部件之间的配合尺寸的精度误差，都会直接影响集成电路的性能指标。

在本领域中，尤其是对涂覆阀偏摆的机构中，轴承的内圈与固定轴固定，转动臂固定在轴承的外圈上，轴承安装在对应的轴承槽中。但是轴承槽在加工时会存在一定的精度误差，从而使得轴承在竖直方向上会发生活动。由于转动臂是固定在轴承的外圈，因此转动臂在竖直方向上也会发生轻微的活动，从而使得转动臂上的涂覆阀的工作精度受到影响。

例如，本公司之前申请的已经公开的专利文件202122352888.3，一种雾化阀用倾斜装置及其涂覆机，其中该方案的雾化阀在使用一段时间后，由于轴承的松动，从而使得涂覆阀会在竖直方向偏移，进而影响了涂覆阀的加工精度。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提出了一种偏摆机构，通过在安装孔中增加设置顶紧件来对轴承组件的内圈进行顶紧，从而能够避免轴承组件的活动，进而能够有效地避免转动臂发生活动，具有精度高的优点。

具体的，本实用新型公开了一种偏摆机构，包括纵向安装臂和第一驱动机构，所述纵向安装臂上固定有转动座，所述转动座上可转动地安装有转动臂，所述转动臂用于安装涂覆阀，所述转动座上设有转轴安装孔，所述转轴安装孔中设有转轴，所述转动臂上设有安装口，且所述安装口中设有轴承组件，所述轴承组件的外圈与所述转动臂同步运动，所述轴承组件的内圈与所述转轴同步运动；所述第一驱动机构用于驱动所述转动臂转动，所述安装孔中设有顶紧件，所述顶紧件用于对所述轴承组件的内圈进行挤压。

优选的，所述转轴通过顶紧件紧固在所述转轴安装孔中。

优选的，所述轴承组件的内圈和所述顶紧件之间设有第一垫片。

优选的，所述第一垫片与所述轴承组件的内圈的上端面压力接触。

优选的，所述顶紧件为圆环形构件，且所述顶紧件套设在所述转轴上。

优选的，所述转动座的上端具有第一安装耳，所述转动座的下端具有第二安装耳，所述第一安装耳和所述第二安装耳上分别设有所述转轴安装孔。

优选的，所述轴承组件的内圈下端面通过第二垫片安装在所述第二安装耳中。

优选的，所述转轴的轴线沿着竖直方向布置。

优选的，所述转动臂上可转动地安装有转盘，所述转盘用于安装所述涂覆阀，且所述转盘的转动轴线与所述转轴的轴线垂直；所述转动臂上设有用于驱动所述转盘转动的第二驱动机构。

优选的，所述转盘上设有突出部，所述转动臂上安装有触动开关，所述突出部用于挤压所述触动开关的触发部。

有益效果：

本实用新型提出了一种偏摆机构，通过在安装孔中增加设置顶紧件来对轴承组件的内圈进行顶紧，从而能够避免轴承组件的活动，进而能够有效地避免转动臂发生活动，具有精度高的优点。

附图说明