[实用新型]新型智能特气瓶柜有效

专利信息
申请号: 202221503867.5 申请日: 2022-06-15
公开(公告)号: CN217653685U 公开(公告)日: 2022-10-25
发明(设计)人: 周礼誉 申请(专利权)人: 上海兄弟微电子技术有限公司
主分类号: F17C13/08 分类号: F17C13/08;F17C13/02;F17C13/12;F17C13/00
代理公司: 北京深川专利代理事务所(普通合伙) 16058 代理人: 张娴
地址: 200120 上海市浦东*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 新型 智能 特气瓶柜
【说明书】:

新型智能特气瓶柜,包括电源模块、特气瓶柜本体、电源开关、电动推杆、手动阀门、电磁阀,还具有检测电路和提示电路;特气瓶柜本体的柜体前端安装有密封垫,柜门的前端一侧安装有固定板,电动推杆安装在柜体的一侧端外,电动推杆的活动杆前部铰接安装有钩板;柜体的一侧端安装有连接管,特气瓶的阀门出气端和电磁阀一端连接,电磁阀另一端和连接管一端连接,连接管另一端和手动阀门一端连接;电源模块、电源开关、检测电路和提示电路安装在元件盒内并电性连接。本新型特气瓶漏气的第一时间能关断输出气源、且能通过蜂鸣器发声提示附近的工作人员进行处置,即使发生了特气部分泄露,也能防止特气瓶泄露气体造成工作人员中毒或者发生火灾的几率。

技术领域

实用新型涉及电子产品生产辅助用品技术领域,特别是一种新型智能特气瓶柜。

背景技术

在微电子、光电子器件生产过程中,从芯片生长到最后器件的封装,几乎每一步、每一个环节都离不开特种电子气体(比如HCL、H2、TCA等等不一而论),因此电子气体被称为半导体材料的“粮食”和“源”。电子气体很大程度上决定了半导体器件性能的好坏。

特气钢瓶是储存特气的容器,生产区域为了管理方便以及安全需要,一般都会将特气瓶摆放在特气瓶柜内。现有的特气瓶柜由于结构所限,只具有容纳摆放特气瓶的功能,特气瓶放入其内部后,不具有气体泄露探测功能,当特气瓶内装入的是有毒及可燃易爆气体(比如HCL、H2)发生泄漏时,泄露的特气容易造成人员中毒事故或者遇到火源爆炸等事故,因而现有的特气瓶柜还存在很大的改进余地。

实用新型内容

为了克服现有的特气瓶柜由于结构所限,不具有气体泄漏探测功能,以及不能防止特气瓶泄露的气体对工作人员造成安全隐患的弊端,本实用新型提供了基于特气瓶柜本体,应用中在相关机构及电路共同作用下,能实时探测特气瓶是否存在漏气现象,特气瓶漏气的第一时间能关断输出气源、且能通过蜂鸣器发声提示附近的工作人员进行处置,还能有效防止特气瓶泄露的气体造成工作人员中毒或者发生火灾几率的新型智能特气瓶柜。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:

新型智能特气瓶柜,包括电源模块、特气瓶柜本体、电源开关、电动推杆、手动阀门、电磁阀,其特征在于还具有检测电路和提示电路;所述特气瓶柜本体的柜体前端安装有密封垫,柜门的前端一侧安装有固定板,电动推杆安装在柜体的一侧端外,电动推杆的活动杆前部铰接安装有钩板;所述柜体的一侧端安装有连接管,特气瓶的阀门出气端和电磁阀一端连接,电磁阀另一端和连接管一端连接,连接管另一端和手动阀门一端连接,手动阀门另一端和生产设备用气端连接;所述电源模块、电源开关、检测电路和提示电路安装在元件盒内;所述检测电路的信号输出端和提示电路的信号输入端电性连接,电源开关的电源输出端和电动推杆的电源输入端电性连接;所述提示电路的电源输出端和电磁阀的电源输入端电性连接。

进一步地,所述电源模块是交流转直流开关电源模块。

进一步地,所述电动推杆是往复式电动伸缩杆,检测电路包括经电性连接的二极管、电阻、可燃气体泄漏探测仪,可燃气体泄漏探测仪的信号输出端和二极管正极连接,极管负极和电阻一端连接。

进一步地,所述提示电路包括电性连接的可控硅、蜂鸣器,可控硅阴极和蜂鸣器正极电源输入端连接,和电磁阀连接的导线具有电源插座,和可控硅阴极及电源模块负极电源输出端连接的导线具有电源插头,电源插头插入电源插座内。

本实用新型有益效果是:本新型基于特气瓶柜本体,应用中在检测电路、提示电路等共同作用下,能实时探测特气瓶位于特气瓶柜本体内后是否存在漏气现象,特气瓶漏气的第一时间能关断输出气源、且能通过蜂鸣器发声提示附近的工作人员进行处置。由于本新型通过电动推杆锁紧柜门,柜门和柜体之间密封良好,即使发生了特气部分泄露,也能防止特气瓶泄露气体造成工作人员中毒或者发生火灾的几率。基于上述,所以本新型具有好的应用前景。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步说明。

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