[实用新型]一种PV制程真空系统装置

权利要求书

1.一种PV制程真空系统装置，包括连接座，所述连接座与装置箱固定相连，其特征在于，还包括：

驱动机构，所述驱动机构设置在装置箱内，所述驱动机构与真空机构相连，所述驱动机构用于对真空机构进行驱动；

真空机构，所述真空机构的一端设置在装置箱内，所述真空机构的另一端贯穿装置箱的一侧壁并且延伸至装置箱外，所述真空机构用于对物件进行真空吸附；

调整机构，所述调整机构设置在装置箱内，所述调整机构与真空机构活动相连，所述调整机构用于对真空机构的真空度进行调整。

2.根据权利要求1所述的PV制程真空系统装置，其特征在于，所述驱动机构包括驱动件、旋转座、拨杆、转动座、转轴和驱动座，所述驱动件设置在装置箱内，所述驱动件的输出端与旋转座固定相连，所述拨杆偏心设置在旋转座上，所述拨杆与转动座上开设的转动槽活动相连，所述转动槽分布开设在转动座上，所述转动座通过转轴与驱动座固定相连，所述驱动座与真空机构相连。

3.根据权利要求2所述的PV制程真空系统装置，其特征在于，所述驱动座上开设有连接槽，所述连接槽与真空机构相连。

4.根据权利要求3所述的PV制程真空系统装置，其特征在于，所述真空机构包括连接杆、转动杆、移动杆、真空座、活塞和吸附座，所述连接杆的一端安装在连接槽内，所述连接杆的另一端与转动杆的一端活动相连，所述转动杆与调整机构相连，所述转动杆的另一端与移动杆活动相连，所述移动杆的一端延伸至真空座内并且与活塞固定相连，所述真空座固定设置在装置箱的侧壁上，所述活塞与真空座的内壁紧密配合，所述吸附座固定设置在真空座的一端上，且所述吸附座与真空座相连通。

5.根据权利要求4所述的PV制程真空系统装置，其特征在于，所述转动杆上开设有调整槽，所述调整槽与调整机构活动相连。

6.根据权利要求5所述的PV制程真空系统装置，其特征在于，所述调整机构包括动力件、调整座、螺纹轴、调节杆和滑动块，所述动力件设置在调整座上，所述动力件的输出端延伸至调整座内并且与螺纹轴固定相连，所述调整座固定在装置箱的内壁上，所述螺纹轴活动安装在调整座内，所述调节杆的一端延伸至调整座内并且与螺纹轴螺纹连接，所述调节杆的另一端与滑动块活动连接，所述滑动块活动安装在调整槽内。