[实用新型]一款高频中空三维精密对位平台

权利要求书

1.一款高频中空三维精密对位平台，该精密对位平台包括底板(1)，其特征在于，所述底板(1)上端固定连接有左右对称的第一光栅尺(2)，所述底板(1)上端活安装有中间板(6)，所述底板(1)与中间板(6)之间通过交叉滚子导轨(3)活动连接，所述中间板(6)下端安装有第一固定块(5)，所述第一固定块(5)下端安装有第一读数头(4)，所述底板(1)上端靠右一侧固定连接有导轨体(7)，所述导轨体(7)上端活动连接有钳制器(8)，所述底板(1)上端靠右一侧固定连接有直线电机定子(9)，所述中间板(6)下端固定连接有直线电机动子(10)。

2.根据权利要求1所述的一款高频中空三维精密对位平台，其特征在于，所述中间板(6)上端安装有上板(12)，所述上板(12)上端固定连接有旋转底座(13)，所述旋转底座(13)上端安装有负载板(20)。

3.根据权利要求2所述的一款高频中空三维精密对位平台，其特征在于，所述负载板(20)下圆柱外侧圈套有交叉滚子轴承(16)，所述交叉滚子轴承(16)下端活动连接有下压板(14)，所述交叉滚子轴承(16)上端安装有上压板(17)，所述旋转底座(13)与交叉滚子轴承(16)之间通过下压板(14)活动连接。

4.根据权利要求2所述的一款高频中空三维精密对位平台，其特征在于，所述负载板(20)下端安装有定子转接板(24)，所述定子转接板(24)下端安装有弧形电机动子(23)，所述上板(12)上端固定连接有弧形电机定子(21)。

5.根据权利要求2所述的一款高频中空三维精密对位平台，其特征在于，所述负载板(20)下端安装有第二固定块(19)，所述第二固定块(19)下端安装有第二读数头(18)，所述旋转底座(13)外侧固定连接有第二光栅尺(15)，所述旋转底座(13)上端固定连接有防撞块(22)。

6.根据权利要求2所述的一款高频中空三维精密对位平台，其特征在于，所述交叉滚子导轨(3)前后两端与旋转底座(13)上端均安装了限位柱(11)。