[实用新型]一种光纤湿度传感器

权利要求书

1.一种光纤湿度传感器，其特征在于：包括介质衬底和微纳光纤；

介质衬底：具有调制微纳光纤倏逝场耦合的下沉式耦合区域；

微纳光纤：腰部悬空于下沉式耦合区域上方，与介质衬底的下沉式耦合区域之间形成调制空间；

信号光从微纳光纤一端输入，在其腰部外壁产生倏逝场后从另一端输出，倏逝场耦合入介质衬底上的下沉式耦合区域底部，使微纳光纤输出的信号光功率降低。

2.根据权利要求1所述的一种光纤湿度传感器，其特征在于：所述介质衬底上设置有作为下沉式耦合区域的微型槽，所述微型槽在纳米量级。

3.根据权利要求2所述的一种光纤湿度传感器，其特征在于：所述微型槽的长、宽均在5mm-20mm之间。

4.根据权利要求2所述的一种光纤湿度传感器，其特征在于：所述微型槽的深度在400nm-2000nm。

5.根据权利要求2所述的一种光纤湿度传感器，其特征在于：所述微纳光纤为双锥形结构，所述微纳光纤锥区直径由两侧向中间逐渐减小，并在腰部趋于均匀。

6.根据权利要求5所述的一种光纤湿度传感器，其特征在于：所述微纳光纤的腰部直径在200nm-2000nm之间。

7.根据权利要求5所述的一种光纤湿度传感器，其特征在于：所述微纳光纤腰部长度为10-50mm。

8.根据权利要求1-7任一项所述的一种光纤湿度传感器，其特征在于：所述微纳光纤通过紫光胶固定在微型槽两侧呈悬空状态。

9.根据权利要求8所述的一种光纤湿度传感器，其特征在于：所述紫光胶的折射率小于微纳光纤的纤芯折射率。

10.根据权利要求1-7任一项所述的一种光纤湿度传感器，其特征在于：所述衬底的材质为二氧化硅或对信号光波长透明且折射率大于调制空间折射率的介质。