[实用新型]一种金属微球制备装置

权利要求书

1.一种金属微球制备装置，其特征在于，包括坩埚腔室和设置于所述坩埚腔室内的熔融坩埚，所述坩埚腔室内的熔融坩埚外侧设有加热器，所述熔融坩埚内上下可移动的设置有驱动件，所述熔融坩埚的底部贴合设有微孔部件，所述驱动件可向下移动以将熔融坩埚内的熔融液滴挤入所述微孔部件的微孔中；

所述坩埚腔室下部设置有降落管路，所述熔融液滴从微孔中落入降落管路，所述降落管路外部上侧装有原位热处理系统，内侧装有快速凝固装置；

所述降落管路的下部设置有微球收集部件；

所述原位热处理系统包括设置在所述降落管路外侧上部的加热套，所述快速凝固装置相对贴合于所述降落管路内壁，所述快速凝固装置包含循环冷却管路与循环冷却管路连通的进口阀门和出口阀门；

所述降落管路的下部出口与所述微球收集部件的收集槽对应。

2.如权利要求1所述的金属微球制备装置，其特征在于，所述循环冷却管路包括设置于所述降落管路内部的循环冷却管和设置于降落管路外且与循环冷却管连通的循环冷却入口和循环冷却出口。

3.如权利要求2所述的金属微球制备装置，其特征在于，所述循环冷却入口设置在降落管路的下部，循环冷却出口具有两个，分别设置在降落管路的上部和下部。

4.如权利要求1所述的金属微球制备装置，其特征在于，所述降落管路内设置有至少一个测温仪。

5.如权利要求1所述的金属微球制备装置，其特征在于，所述微球收集部件包括收集装置腔体、收集装置腔体内设有支架、设置在所述支架上的中心旋转轴和转动安装在所述转轴上的收集盘，所述收集装置腔体可密封降落管路的底部开口；所述收集槽具有多个且呈环状设置在所述收集盘上。

6.如权利要求1所述的金属微球制备装置，其特征在于，所述坩埚腔室的上部还设置有用于对坩埚内及坩埚腔室、降落管路、收集腔体内抽真空的真空部件和用于调整坩埚腔室和坩埚内压力差的压差控制系统；所述坩埚和所述坩埚腔室均连接有用于向所述坩埚内和所述坩埚腔室充入保护气体的充气管。

7.如权利要求1所述的金属微球制备装置，其特征在于，所述熔融坩埚上部设有密封盖，所述驱动件的上部依次穿过所述密封盖和坩埚腔室的顶部，所述坩埚腔室的顶部设置有与所述驱动件传动连接的波形发生器和压电陶瓷。

8.如权利要求1所述的金属微球制备装置，其特征在于，所述坩埚熔融的底部中心设有一个圆孔，所述圆孔的直径为200-800μm；所述微孔为与所述圆孔相对应布置的圆形孔，所述微孔的直径为100-800μm。

9.如权利要求6所述的金属微球制备装置，其特征在于，所述压差控制系统包括连通所述坩埚腔室和坩埚内的气压管及设置在气压管上的压差传感器、电磁阀和气体流量控制器，所述压差传感器、电磁阀和气体流量控制器同时电连接有压差控制器；

所述压差传感器检测所述坩埚腔室和坩埚内的气压差并将该气压差传递至所述压差控制器，所述压差控制器控制所述电磁阀和气体流量控制器的开启或关闭，以使所述坩埚腔室和坩埚内的压力差为50～220KPa。

10.如权利要求6所述的金属微球制备装置，其特征在于，所述真空部件包括用于对坩埚内和坩埚腔室、降落管路、收集腔体抽真空的机械泵、罗茨泵和扩散泵，所述坩埚上设置有分别于机械泵、罗茨泵和扩散泵连接的机械泵阀门、罗茨泵阀门和扩散泵阀门。