[实用新型]一种温度控制系统

权利要求书

1.一种温度控制系统，用于控制样品台的温度，其特征在于，所述温度控制系统包括气压维持系统、闭环气路制冷系统和温度维持系统；

所述闭环气路制冷系统包括循环泵(19)、第一热交换管(16)、第二热交换管(12)，循环泵(19)、第一热交换管(16)、第二热交换管(12)通过管道(18)循环连接；

所述温度维持系统包括制冷液体罐(17)和加热组件(9)，制冷液体罐(17)中设有制冷液(15)，且第一热交换管(16)处于制冷液(15)中，加热组件(9)和第二热交换管(12)均安装在样品台(14)的内部，样品台(14)和部分管道(18)位于密封腔体(13)内；

所述气压维持系统用于通过管道(18)向所述闭环气路制冷系统提供具有预设压强的气体，且所述气压维持系统提供的气体在循环泵(19)的作用下先通过管道(18)到达第一热交换管(16)，再经过位于密封腔体(13)内的管道(18)到达第二热交换管(12)，最后经过管道(18)回到循环泵(19)实现气流循环。

2.根据权利要求1所述的温度控制系统，其特征在于，所述气压维持系统包括供气瓶(1)和减压阀(2)，供气瓶(1)通过减压阀(2)向管道(18)内补充气体。

3.根据权利要求2所述的温度控制系统，其特征在于，所述气压维持系统还包括第一电磁阀(4)、第二电磁阀(6)和数字压力控制器(3)，第一电磁阀(4)和第二电磁阀(6)分别与管道(18)连接，且第一电磁阀(4)和第二电磁阀(6)分别与数字压力控制器(3)电性连接；

当管道(18)内的压强低于所述预设压强时，数字压力控制器(3)控制第一电磁阀(4)打开，向管道(18)内补充气体，以增加管道(18)内的压强；当管道(18)内的压强高于所述预设压强时，数字压力控制器(3)控制第二电磁阀(6)打开，使管道(18)向外释放气体，以降低管道(18)内的压强。

4.根据权利要求3所述的温度控制系统，其特征在于，所述气压维持系统还包括第一针阀(5)，第一针阀(5)与第一电磁阀(4)连接，第一针阀(5)用于控制管道(18)内增压的速度。

5.根据权利要求3所述的温度控制系统，其特征在于，所述气压维持系统还包括第二针阀(20)，第二针阀(20)与第二电磁阀(6)连接，第二针阀(20)用于控制管道(18)内减压的速度。

6.根据权利要求1所述的温度控制系统，其特征在于，所述温度维持系统还包括测温热电偶(11)，测温热电偶(11)安装在样品台(14)的内部。

7.根据权利要求6所述的温度控制系统，其特征在于，所述温度维持系统还包括温度控制仪表(10)，温度控制仪表(10)位于密封腔体(13)的外部，加热组件(9)和测温热电偶(11)分别与温度控制仪表(10)电性连接。

8.根据权利要求1所述的温度控制系统，其特征在于，第一热交换管(16)采用热交换螺旋铜管。

9.根据权利要求1所述的温度控制系统，其特征在于，第二热交换管(12)采用热交换螺旋铜管。

10.根据权利要求1所述的温度控制系统，其特征在于，加热组件(9)采用加热电阻。