[实用新型]一种晶圆磨削装置

权利要求书

1.一种晶圆磨削装置，其特征在于，包括：

工作台(1)；

打磨组件(2)，用于打磨晶圆的所述打磨组件(2)固定安装于工作台(1)上；

固定机构(3)，设有两个，且用于固定工件的两个所述固定机构(3)滑动连接在工作台(1)上；

抛光液组件(4)，用于储存喷洒抛光液的所述抛光液组件(4)固定安装在工作台(1)下方；

搅拌机构(5)，用于使得抛光液保持质地均匀的搅拌机构(5)固定安装在抛光液组件(4)和工作台(1)上。

2.根据权利要求1所述的晶圆磨削装置，其特征在于，所述打磨组件(2)包括支撑架(21)、液压缸(22)、安装板(23)、驱动电机(24)和打磨轮(25)，所述支撑架(21)固定安装于工作台(1)的上方，且支撑架(21)上固定连接有若干个液压缸(22)，若干所述液压缸(22)的活塞端固定安装有安装板(23)，所述安装板(23)的上表面固定安装有驱动电机(24)，所述驱动电机(24)的输出端向下穿过安装板(23)固定连接有打磨轮(25)。

3.根据权利要求1所述的晶圆磨削装置，其特征在于，所述固定机构(3)包括夹持组件(31)、压紧组件(32)和限位组件(33)，所述夹持组件(31)滑动安装于工作台(1)开设的水平滑槽(101)上，所述压紧组件(32)固定安装于夹持组件(31)上，所述限位组件(33)设置于夹持组件(31)上。

4.根据权利要求3所述的晶圆磨削装置，其特征在于，所述夹持组件(31)包括承载板(311)、支撑板(312)、螺纹杆(313)、旋钮(314)、螺纹套(315)、第一压板(316)和滑块(317)，所述承载板(311)滑动安装于工作台(1)开设的水平滑槽(101)上，且承载板(311)上固定连接有支撑板(312)，所述支撑板(312)内部通过轴承转动连接有螺纹杆(313)，所述螺纹杆(313)一端固定连接有旋钮(314)，螺纹杆(313)另一端螺纹连接有螺纹套(315)，所述螺纹套(315)远离螺纹杆(313)的一侧固定连接有第一压板(316)，且螺纹套(315)底端固定连接有滑块(317)，所述滑块(317)与承载板(311)开设的限位槽滑动连接。

5.根据权利要求3所述的晶圆磨削装置，其特征在于，所述压紧组件(32)包括第一齿轮(321)、第一齿条板(322)、横板(323)、第一弹簧(324)和第二压板(325)，所述第一齿轮(321)套设在螺纹杆(313)上，所述第一齿条板(322)滑动安装于支撑板(312)开设在滑槽内，且第一齿条板(322)与第一齿轮(321)啮合，所述横板(323)穿过支撑板(312)开设在滑槽与第一齿条板(322)侧壁固定连接，且横板(323)底端固定连接有第一弹簧(324)，所述第一弹簧(324)的底端固定连接有第二压板(325)。

6.根据权利要求3所述的晶圆磨削装置，其特征在于，所述限位组件(33)包括梯形板(331)、连接板(332)、第二弹簧(333)、滑轮(334)和限位杆(335)，所述梯形板(331)固定安装于滑块(317)的底端，所述连接板(332)设置在承载板(311)开设的与限位槽贯通的空腔内，且连接板(332)底端固定连接有第二弹簧(333)，所述第二弹簧(333)与承载板(311)固定连接，连接板(332)顶端铰接有滑轮(334)，两个所述限位杆(335)固定安装于连接板(332)的底端，且两个限位杆(335)一端插设在承载板(311)开设的通孔中，所述工作台(1)表面开设有若干个限位通孔(102)，所述限位杆(335)与限位通孔(102)滑动配合。

7.根据权利要求6所述的晶圆磨削装置，其特征在于，所述梯形板(331)靠近滑轮(334)的一侧开设有滑槽，所述滑轮(334)与滑槽滑动配合。