[实用新型]一种内置分光器的参考气室光电探测器

权利要求书

1.一种内置分光器的参考气室光电探测器，其特征在于，包括第一参考光电探测器（1）、光纤分光准直器（2）；所述光纤分光准直器（2）通过耦合固定组件（3）耦合固定在所述第一参考光电探测器（1）上；

所述第一参考光电探测器（1）包括TO封装的光电探测器（4）及参考气室（5），所述参考气室（5）内填充有参考气体；

所述光纤分光准直器（2）包括入射光纤（6）、第一反射光纤（7）、自聚焦透镜（8）；所述自聚焦透镜（8）出光端面镀制有分光用的半透半反膜（11）；所述入射光纤（6）和所述第一反射光纤（7）穿过光纤固定玻璃管（9）耦合固定在自聚焦透镜（8）入光端面附近，并与所述自聚焦透镜（8）的入光端面配置为偏轴耦合方式；

从所述入射光纤（6）入射的部分光束通过所述自聚焦透镜（8）准直后入射到所述第一参考光电探测器（1）内，另一部分光束经所述自聚焦透镜（8）出光端面的半透半反膜（11）反射后耦合进所述第一反射光纤（7）。

2.如权利要求1所述的内置分光器的参考气室光电探测器，其特征在于：在所述入射光纤（6）、第一反射光纤（7）、自聚焦透镜（8）、光纤固定玻璃管（9）所组成的光路外部同轴固定罩设有保护套管（10）。

3.如权利要求1所述的内置分光器的参考气室光电探测器，其特征在于：所述TO封装的光电探测器（4）包括光电二极管芯片（12）、第一TO管帽（13）、TO管座（14）、TO管体（16）、热沉垫块（17）；

所述光电二极管芯片（12）固定在热沉垫块（17）上，所述热沉垫块（17）固定在所述TO管座（14）上，所述第一TO管帽（13）罩设在所述TO管座（14）上，所述TO管体（16）罩设在所述TO管座（14）上、与所述TO管帽（13）同轴放置；所述TO管座（14）与所述TO管帽（13）合围的内封闭空间为所述参考气室（5）。

4.如权利要求3所述的内置分光器的参考气室光电探测器，其特征在于：所述第一参考光电探测器（1）内还包括第二TO管帽（18）；所述第二TO管帽（18）罩设在所述TO管体（16）上，所述第二TO管帽（18）、TO管体（16）、第一TO管帽（13）合围的封闭空间为所述参考气室（5）。

5.如权利要求4所述的内置分光器的参考气室光电探测器，其特征在于：所述第一TO管帽（13）为斜面光窗的管帽、所述第二TO管帽（18）为斜面光窗的管帽、所述热沉垫块（17）具有倾斜面；所述光电二极管芯片（12）固定在热沉垫块（17）的倾斜面上以与所述第一参考光电探测器（1）的主光轴以非垂直方式进行设置。

6.如权利要求5所述的内置分光器的参考气室光电探测器，其特征在于：所述第一TO管帽（13）、第二TO管帽（18）的斜面光窗以非平行方式进行设置；所述第一TO管帽（13）光窗和热沉垫块（17）的倾斜面以非平行方式进行设置。

7.如权利要求1-6中任一项所述的内置分光器的参考气室光电探测器，其特征在于：还包括内置扩散型气室结构的第一测量光电探测器（19）；所述半透半反膜（11）为分光介质膜，将同波长的部分光束透射、其他部分光束反射；所述第一测量光电探测器（19）与所述第一反射光纤（7）出射端相连，以组成具备参考测量双功能的光电探测器。

8.如权利要求7所述的内置分光器的参考气室光电探测器，其特征在于：所述光纤分光准直器（2）还包括第二反射光纤（21），所述第二反射光纤（21）出射端与第二测量光电探测器（22）相连接；

所述自聚焦透镜（8）出光端面进一步包括反射玻璃分光膜片（20），所述反射玻璃分光膜片（20）镀制有分光介质膜，以将同波长的部分光束透射、其他部分光束反射；

所述第二测量光电探测器（22）无内置扩散型气室结构，以组成具备参考、测量、零点校准三功能的参考气室探测器。