[实用新型]引弧杆总成

说明书

本实用新型公开了一种引弧杆总成，包括：引弧杆、固定座和驱动装置；其中，引弧杆沿其轴向的一端的周向侧壁上设置有销轴；固定座沿其轴向的中部开设有供引弧杆滑动的滑动通孔；固定座的周向侧壁上沿引弧杆滑动的方向开设有滑动槽，滑动槽与滑动通孔连通；销轴在滑动槽内并跟随引弧杆沿滑动槽滑动；驱动装置与引弧杆上设置有销轴的一端连接，用于驱动引弧杆沿滑动槽滑动。

技术领域

本实用新型涉及电弧离子镀技术领域，尤其是涉及一种引弧杆总成。

背景技术

在电弧离子镀膜设备中，驱动装置驱动引弧杆移动以使其带着前端的引弧针穿过起密封作用的骨架封胶伸进真空室内，目前电弧离子镀设备的引弧杆主要是通过骨架油封、无氧铜及O型圈形成的静密封来实现引弧杆运动过程中的真空密封，但现有技术中的引弧杆总成无法有效地对引弧杆的运动行程进行限位，使得引弧杆的伸出长度不够准确。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。

为此，本实用新型提出一种引弧杆总成，能够对引弧杆的运动行程进行限位，使引弧杆的伸出长度更加准确。

根据本实用新型实施例的引弧杆总成，包括：

引弧杆，沿其轴向的一端的周向侧壁上设置有销轴；

固定座，沿其轴向的中部开设有供所述引弧杆滑动的滑动通孔；所述固定座的周向侧壁上沿所述引弧杆滑动的方向开设有滑动槽，所述滑动槽与所述滑动通孔连通；所述销轴在所述滑动槽内并跟随所述引弧杆沿所述滑动槽滑动；

驱动装置，与所述引弧杆上设置有所述销轴的一端连接，用于驱动所述引弧杆沿所述滑动槽滑动。

根据本实用新型实施例的引弧杆总成，至少具有如下有益效果：驱动装置驱动引弧杆沿滑动槽滑动。引弧杆的伸出长度，即销轴在滑动槽中滑动的长度；通过销轴在滑动槽滑动的长度即可准确的判断出引弧杆的伸出长度。

根据本实用新型的一些实施例，还包括油封座，所述油封座沿其轴向的中部开设有供所述引弧杆穿过的油封通孔。

根据本实用新型的一些实施例，所述油封座的一端设置有延伸块，所述延伸块上开设有与所述油封通孔连通的油封槽；所述固定座靠近所述延伸块的一端沿其径向延伸有环状卡接块；所述环状卡接块卡入所述油封槽中。

根据本实用新型的一些实施例，所述油封槽内并列设置有多个油封，多个所述油封套装在所述引弧杆的外侧。

根据本实用新型的一些实施例，所述驱动装置是气缸，所述气缸的缸身安装在所述固定座远离所述油封座的一端，所述气缸的活塞杆与所述引弧杆上设置有所述销轴的一端连接。

根据本实用新型的一些实施例，还包括第二绝缘套，所述第二绝缘套套装在所述引弧杆的外侧，所述第二绝缘套的一端与所述油封座远离所述固定座的一端连接。

根据本实用新型的一些实施例，所述第二绝缘套的一端沿其径向向外延伸有第二环状凸起，所述油封座的另一端沿其径向向外延伸有第一环状凸起，所述第二环状凸起和所述第一环状凸起之间通过螺栓连接。

根据本实用新型的一些实施例，还包括第一绝缘套，所述第一绝缘套安装在所述螺栓上。

根据本实用新型的一些实施例，所述第二环状凸起远离所述油封座的一侧开设有第二环状密封槽。

根据本实用新型的一些实施例，所述第一环状凸起朝向所述第二绝缘套的一侧开设有第一环状密封槽。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：