[实用新型]一种靶材机械加工装置

说明书

本实用新型公开了一种靶材机械加工装置，涉及靶材机械技术领域，包括加工装置本体、主体支撑台、稳定台、移动半弧杆和加工工作台，所述加工装置本体的底部固定安装有主体支撑台，且所述加工装置本体的顶部设置有稳定台，所述稳定台的内侧设置有移动半弧杆，所述加工装置本体的顶部且位于稳定台的内侧设置有加工工作台，所述移动半弧杆的内侧设置有靶材固定板。本实用新型通过具备稳定台、移动半弧杆、靶材固定板、活动槽、移动机构，解决现有的加工装置在使用时，无法根据靶材的大小进行尺寸调整，导致加工装置实用性不高的问题，通过以上结构结合以达到使加工装置在使用时，能够根据靶材的大小进行尺寸调整，提高加工装置的实用性。

技术领域

本实用新型涉及一种加工装置，涉及靶材机械技术领域，具体涉及一种靶材机械加工装置。

背景技术

靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。针对现有技术存在以下问题：

1、现有的加工装置在使用时，无法根据靶材的大小进行尺寸调整，导致加工装置实用性不高的问题；

2、现有的加工装置在使用过程中，在对靶材进行加工时，加工台容易发生断裂，导致装置受损的问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种靶材机械加工装置，其中一种目的是为了具备稳定台、移动半弧杆、靶材固定板、活动槽、移动机构，解决现有的加工装置在使用时，无法根据靶材的大小进行尺寸调整，导致加工装置实用性不高的问题；其中另一种目的是为了解决现有的加工装置在使用过程中，在对靶材进行加工时，加工台容易发生断裂，导致装置受损的问题，以达到使加工装置在使用过程中，能够靶材加工台进行加固，防止在对靶材进行加工时加工台发生断裂。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：

一种靶材机械加工装置，包括加工装置本体、主体支撑台、稳定台、移动半弧杆和加工工作台，所述加工装置本体的底部固定安装有主体支撑台，且所述加工装置本体的顶部设置有稳定台，所述稳定台的内侧设置有移动半弧杆，所述加工装置本体的顶部且位于稳定台的内侧设置有加工工作台，所述移动半弧杆的内侧设置有靶材固定板，所述靶材固定板用于根据靶材的大小进行尺寸调整。

所述加工工作台的内部设置有防断裂顶层，所述防断裂顶层用于对加工工作台进行加固。

本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述稳定台的底部固定安装在加工装置本体的顶部，所述靶材固定板的外侧固定安装在移动半弧杆的内侧，所述加工工作台的底部固定安装在加工装置本体的顶部。

采用上述技术方案，该方案中的加工装置本体的一侧设置有控制器，可以对加工装置本体上的机构进行控制。

本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述稳定台的内侧开设有活动槽，所述活动槽的内壁上设置有移动机构，所述移动机构的表面四周活动安装在活动槽的内壁上，且所述移动机构的内侧固定安装在移动半弧杆的左右两侧。

采用上述技术方案，该方案中的稳定台内部的活动槽与移动机构进行移动，带动移动半弧杆上的靶材固定板向内侧合并，从而使装置可以根据靶材的大小进行尺寸调整。

本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述靶材固定板的内壁上固定安装有第二支撑层，且所述靶材固定板的内壁上且位于第二支撑层的外侧设置有第一支撑层，所述第一支撑层的内侧固定安装在第二支撑层的外侧，且所述第一支撑层的表面四周固定安装在靶材固定板的内壁上。

本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述靶材固定板的内壁上且位于第一支撑层的外侧设置有板内支撑架，所述板内支撑架的内侧固定安装在第一支撑层的外侧，且所述板内支撑架的外侧固定安装在靶材固定板的内壁上。