[实用新型]定位卡持机构有效
申请号: | 202221056890.4 | 申请日: | 2022-04-29 |
公开(公告)号: | CN217361534U | 公开(公告)日: | 2022-09-02 |
发明(设计)人: | 林宜龙;刘飞;水清;吴海裕 | 申请(专利权)人: | 深圳格芯集成电路装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/687 |
代理公司: | 深圳高智量知识产权代理有限公司 44851 | 代理人: | 姚启迪 |
地址: | 518000 广东省深圳市坪山区龙田街道*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 定位 机构 | ||
本实用新型实施例公开了一种定位卡持机构,其特征在于,包括:卡持座、及可活动设置于所述卡持座上的至少两个卡持组件,至少两个所述卡持组件间隔设置;所述卡持组件包括安装块、弹性伸缩单元和卡持块,所述安装块设置于所述卡持座上,所述弹性伸缩单元活动设置于所述安装块上,所述卡持块与所述弹性伸缩单元连接并能够卡持或释放所述托盘。相较于现有技术而言,本方案的定位卡持机构用于借助弹性伸缩单元的弹性推力使卡持块将托盘卡持固定,形成的是柔性卡持连接,因为不会出现卡盘问题,且至少两个卡持组件同时与托盘卡接,对托盘固定可靠性高,同时定位卡持机构的结构组成简单,使用便捷可靠。
技术领域
本实用新型涉及芯片生产设备技术领域,尤其涉及一种定位卡持机构。
背景技术
近年来,随着人们消费水平以及生活品质的不断提高,消费类电子产品、智能交互设备等产品的需求量得到了爆炸式增长,而芯片由于扮演着控制大脑的角色,在这类产品中起到至关重要的角色,同时芯片的需求量也越来越大。
目前,芯片采用芯片生产设备制备。生产时,多个芯片被有序放置在托盘内,以便整盘芯片进入后续加工工位,提高加工效率。为了提高供料能力以及芯片生产设备的加工能力,备料时会将多个托盘放置在储料架上,托盘通过储料架上预设的卡位装置固定。然而现有的卡位装置容易出现卡盘问题,结构复杂,使用可靠性低。
实用新型内容
有鉴于此,本实用新型提供了一种定位卡持机构,用于解决现有技术中容易出现卡盘,结构复杂,使用可靠性低的问题。
为达上述之一或部分或全部目的或是其他目的,本实用新型提出一种定位卡持机构,其特征在于,包括:卡持座、及可活动设置于所述卡持座上的至少两个卡持组件,至少两个所述卡持组件间隔设置;所述卡持组件包括安装块、弹性伸缩单元和卡持块,所述安装块设置于所述卡持座上,所述弹性伸缩单元活动设置于所述安装块上,所述卡持块与所述弹性伸缩单元连接并能够卡持或释放所述托盘。
在其中一个实施例中,所述卡持座的中部形成有贯穿其厚度方向设置的避空通槽,至少两个所述卡持组件围绕所述避空通槽的外周间隔设置,所述托盘位于所述避空通槽的正上方。
在其中一个实施例中,所述避空通槽的形状与所述托盘的形状适配,且所述避空通槽的面积大于或等于所述托盘的面积。
在其中一个实施例中,所述卡持块设有面向所述避空通槽方向设置的抵接面,所述抵接面凸出设置有卡持部。
在其中一个实施例中,所述弹性伸缩单元包括弹性伸缩件,所述弹性伸缩件连接于所述卡持块与所述安装块之间。
在其中一个实施例中,所述卡持块开设有限位孔,所述弹性伸缩件插置于所述限位孔内并能够在所述限位孔内伸缩移动。
在其中一个实施例中,所述卡持组件还包括行程限位杆,所述行程限位杆穿设于所述限位孔内,且所述行程限位杆的一端与所述安装块连接,所述行程限位杆的另一端设置有限位端帽,所述限位端帽能够与所述卡持块限位抵接。
在其中一个实施例中,所述卡持组件还包括导向杆,所述卡持块还开设有导向孔,所述导向杆的一端设置于所述安装块上,所述导向杆的另一端滑动插置于所述导向孔内。
在其中一个实施例中,所述卡持组件还包括减摩套筒,所述减摩套筒插置于所述导向孔内,所述导向杆滑动插置于所述减摩套筒内。
在其中一个实施例中,所述减摩套筒采用无油衬套。
实施本实用新型实施例,将具有如下有益效果:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造