[实用新型]一种探针卡升降机构有效
申请号: | 202221048881.0 | 申请日: | 2022-05-05 |
公开(公告)号: | CN217385609U | 公开(公告)日: | 2022-09-06 |
发明(设计)人: | 张敏;李潇 | 申请(专利权)人: | 盛华微纳科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073 |
代理公司: | 成都明涛智创专利代理有限公司 51289 | 代理人: | 周佳 |
地址: | 215121 江苏省苏州市工*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 探针 升降 机构 | ||
1.一种探针卡升降机构,包括支撑箱(1),其特征在于,所述支撑箱(1)的内部转动连接有丝杆(18),所述丝杆(18)的外侧螺纹连接有升降块(4),所述支撑箱(1)的内部设有电机(19),且电机(19)的输出端与丝杆(18)固定连接,所述升降块(4)与支撑箱(1)滑动连接,所述支撑箱(1)的一侧滑动连接有升降箱(5),且升降块(4)与升降箱(5)固定连接,所述升降箱(5)的内部滑动连接有放置块(13),所述放置块(13)的底部等距设有二号弹簧(14),且二号弹簧(14)的一端与升降箱(5)固定连接,所述升降箱(5)的一侧设有移动机构(9),所述放置块(13)的内部开设有活动槽(8),所述活动槽(8)的内侧对称开设有斜滑槽(17),所述斜滑槽(17)的内部滑动连接有移动杆(21),所述移动杆(21)与移动机构(9)连接。
2.根据权利要求1所述的一种探针卡升降机构,其特征在于:所述升降块(4)的内部对称滑动连接有限位滑杆(15),且限位滑杆(15)与支撑箱(1)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种探针卡升降机构,其特征在于:所述移动机构(9)包括固定箱(91),所述升降箱(5)的一侧设有固定箱(91),所述固定箱(91)的内部滑动连接有滑动板(95),所述滑动板(95)与活动槽(8)活动连接,所述滑动板(95)的两侧与移动杆(21)固定连接,所述固定箱(91)的内侧对称开设有滑动槽(92),所述滑动板(95)的外侧对称设有限位滑板(93),且限位滑板(93)与滑动槽(92)滑动连接,所述限位滑板(93)的一侧设有一号弹簧(94),且一号弹簧(94)的一端与滑动槽(92)固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种探针卡升降机构,其特征在于:所述滑动板(95)的一侧开设有凹槽(10),所述凹槽(10)的内侧通过转轴转动连接有滚轮(11)。
5.根据权利要求4所述的一种探针卡升降机构,其特征在于:所述支撑箱(1)的一侧设有底座(2),所述底座(2)的顶部设有与滚轮(11)配合的斜块(3)。
6.根据权利要求1所述的一种探针卡升降机构,其特征在于:所述升降箱(5)的顶部通过螺栓连接有固定盖(6),所述固定盖(6)的顶部开设有通孔(7),所述放置块(13)的顶部设有探针卡本体(12),所述探针卡本体(12)的顶部设有探针本体(16)。
7.根据权利要求1所述的一种探针卡升降机构,其特征在于:所述支撑箱(1)的一侧设有控制面板(20),所述电机(19)与控制面板(20)电性连接。
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