[实用新型]一种新型硅烷尾气淋洗系统

权利要求书

1.一种新型硅烷尾气淋洗系统，其特征在于，包括三组相互并联的第一淋洗塔组件（1）、第二淋洗塔组件（2）、第三淋洗塔组件（3），三组淋洗塔组件一同并联至前端多晶硅生产塔区（4）的尾气排放管（5）上；

每组淋洗塔组件包括洗涤塔（10）、尾气引入管（20）、洗涤液循环管道（30）、塔釜泵（40）以及淋洗液补加单元（50）和冷热切换单元（60）；洗涤塔（10）的一端与尾气引入管（20）连接，将多晶硅生产塔区（4）中排出的尾气送入洗涤塔（10）内进行洗涤；所述洗涤液循环管道（30）连接在洗涤塔（10）的两端进出口，通过设置在洗涤液循环管道（30）上的塔釜泵（40）实现淋洗液的循环；所述淋洗液补加单元（50）连接至洗涤塔（10）内，用于向洗涤塔（10）内补充新鲜淋洗碱液；所述冷热切换单元（60）设置在洗涤液循环管道（30）上，用于对洗涤液循环管道（30）内的碱洗液进行加热或者降温。

2.根据权利要求1所述的新型硅烷尾气淋洗系统，其特征在于，所述冷热切换单元（60）包括换热器（61）、蒸汽凝液上液管线（63）、循环水上水管线（64）、蒸汽凝液回液管线（65）和循环水回水管线（66）；

所述换热器（61）安装在洗涤液循环管道（30）上，蒸汽凝液上液管线（63）与循环水上水管线（64）与换热器（61）的换热端进液口连接，蒸汽凝液回液管线（65）与循环水回水管线（66）与换热器（61）的换热端排液口连接；通过向换热器（61）引入高温的蒸汽凝液对洗涤液进行加热，通过向换热器（61）引入低温的循环水对洗涤液进行降温。

3.根据权利要求2所述的新型硅烷尾气淋洗系统，其特征在于，还包括温度控制器（62），所述温度控制器（62）安装在洗涤液循环管道（30）上，且位于洗涤塔（10）的塔顶进液口处；所述蒸汽凝液上液管线（63）上安装有第一水阀（631），循环水上水管线（64）上安装有第二水阀（641），蒸汽凝液回液管线（65）上安装有第三水阀（651），循环水回水管线（66）上安装有第四水阀（661）；

温度控制器（62）分别与第一水阀（631）、第二水阀（641）、第三水阀（651）和第四水阀（661）信号连接，通过温度控制器（62）控制各水阀的开关。

4.根据权利要求1所述的新型硅烷尾气淋洗系统，其特征在于，所述淋洗液补加单元（50）包括生产水管线（51）和碱液管线（52），所述生产水管线（51）和碱液管线（52）分别连接至洗涤塔（10）内，向洗涤塔（10）内补充淋洗液。

5.根据权利要求4所述的新型硅烷尾气淋洗系统，其特征在于，所述生产水管线（51）设有生产水调节阀（511），碱液管线（52）上设有碱液调节阀（521）；所述生产水调节阀（511）、碱液调节阀（521）分别信号连接至各自的流量控制器FIC，两个流量控制器FIC连接至比例控制器FY，以及设置在淋洗塔塔釜出口洗涤液循环管道（30）的浓度分析仪表AIAS。

6.根据权利要求1所述的新型硅烷尾气淋洗系统，其特征在于，每组淋洗塔组件的洗涤塔（10）通过前端各自的尾气引入管（20）与尾气排放管（5）并联连接；所述尾气引入管（20）上，分别设有进气阀门（21）。

7.根据权利要求1所述的新型硅烷尾气淋洗系统，其特征在于，所述尾气排放管（5）上设置有一台压力变送器。

8.根据权利要求1所述的新型硅烷尾气淋洗系统，其特征在于，每组淋洗塔组件的洗涤塔（10）内设有塔釜液位计（101）。