[实用新型]一种光刻机导杆定位孔加工辅助装置有效
申请号: | 202221029315.5 | 申请日: | 2022-04-29 |
公开(公告)号: | CN217726898U | 公开(公告)日: | 2022-11-04 |
发明(设计)人: | 杭文伟;曹国兴;曹军 | 申请(专利权)人: | 江苏新合益机械有限公司 |
主分类号: | B21D43/00 | 分类号: | B21D43/00;B21D28/24;G03F7/20 |
代理公司: | 无锡苏元专利代理事务所(普通合伙) 32471 | 代理人: | 唐昱庆 |
地址: | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光刻 机导杆 定位 加工 辅助 装置 | ||
1.一种光刻机导杆定位孔加工辅助装置,包括机体(1),其特征在于:所述机体(1)顶部开设有导杆槽(2),所述机体(1)靠近导杆槽(2)的相反两侧内槽均开设有板槽(3),所述机体(1)靠近板槽(3)的下方内槽壁开设有两个滑槽(4),所述滑槽(4)内槽啮合且滑动连接有滑块(5),所述滑块(5)顶部焊接连接有推板(6),所述推板(6)相对导杆槽(2)的一侧焊接连接有推杆(7),所述推杆(7)另一端与导杆槽(2)的内槽壁贯穿且滑动连接,所述推杆(7)靠近导杆槽(2)的一端固定连接有弧板(8),所述导杆槽(2)顶部开口处滑动设有定位板(9),所述定位板(9)中心贯穿开设有定位孔(10)。
2.如权利要求1所述的一种光刻机导杆定位孔加工辅助装置,其特征在于,所述滑槽(4)内槽转动连接有正反螺纹杆(11),所述正反螺纹杆(11)的两端与滑块(5)贯穿且螺纹连接,所述机体(1)靠近正反螺纹杆(11)的一端内槽开设有转槽(12)。
3.如权利要求2所述的一种光刻机导杆定位孔加工辅助装置,其特征在于,所述转槽(12)内壁转动连接有转杆(13),所述转杆(13)一端贯穿机体(1)侧壁连接有电机(14),所述电机(14)与机体(1)侧壁螺栓连接,所述正反螺纹杆(11)与转槽(12)贯穿且转动连接。
4.如权利要求3所述的一种光刻机导杆定位孔加工辅助装置,其特征在于,所述转杆(13)与正反螺纹杆(11)靠近转槽(12)的一端相对位置均焊接连接有齿轮(15),两个所述齿轮(15)相互啮合连接。
5.如权利要求1所述的一种光刻机导杆定位孔加工辅助装置,其特征在于,两个所述弧板(8)相对的内弧一侧表面均粘连连接有一层防滑层(16),所述防滑层(16)为表面设有防护凸点的胶体制成。
6.如权利要求1所述的一种光刻机导杆定位孔加工辅助装置,其特征在于,所述定位板(9)相反两侧固定连接有滑板(17),所述导杆槽(2)相对滑板(17)的两侧内槽开设有移动槽(18),所述滑板(17)与移动槽(18)啮合且滑动连接。
7.如权利要求6所述的一种光刻机导杆定位孔加工辅助装置,其特征在于,所述移动槽(18)内槽的上下两侧设有限位槽(19),所述限位槽(19)内插拔连接有限位杆(20),所述限位杆(20)与滑板(17)贯穿插接。
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