[实用新型]一种防护式晶圆清洗机台装置

说明书

本实用新型公开了一种防护式晶圆清洗机台装置，包括机台本体和旋转式防护门，机台本体的内部设置有清洗槽，机台本体的上表面沿其四周边缘设置有顶部敞开的防护挡罩，旋转式防护门包括第一旋转门、第二旋转门、第一伸缩驱动组件和第二伸缩驱动组件，且每根转轴均于防护挡罩的外部安装有一驱动齿轮，第一伸缩驱动组件和第二伸缩驱动组件的驱动轴上均设置有与驱动齿轮相啮合连接的直线齿条，本实用新型通过在机台本体上设置有防护挡罩并通过第一伸缩驱动组件和第二伸缩驱动组件与第一旋转门和第二旋转门配合使用，能对防护挡罩进行密封，这样在不影响晶圆上下料的情况下，还能避免清洗溶剂挥发对操作人员的身体产生影响，具有较高的使用价值。

技术领域

本实用新型涉及晶圆清洗设备技术领域，尤其涉及一种防护式晶圆清洗机台装置。

背景技术

传统对晶圆表面清洗采，清洗过程中需要采用酸洗、碱洗以及水洗等步骤，酸洗即在清洗槽内部盛装有酸性溶液，碱洗即在清洗槽内部盛装有碱性溶液，用于清洗的酸性溶液和碱性溶液诸多都是易挥发性的，其直接挥发于周围的空气中，不仅气味难闻，而且会跟随操作工人的呼吸进入到其体内，伤害操作工人的身体健康；为了解决上述不足，本实用新型公开了一种防护式晶圆清洗机台装置。

实用新型内容

实用新型目的：为了解决背景技术中存在的不足，所以本实用新型公开了一种防护式晶圆清洗机台装置。

技术方案：一种防护式晶圆清洗机台装置，包括机台本体和旋转式防护门，所述机台本体的内部设置有清洗槽，所述机台本体的上表面沿其四周边缘设置有顶部敞开的防护挡罩，且所述防护挡罩的四周内壁均设置有密封台阶；

所述旋转式防护门包括第一旋转门、第二旋转门、第一伸缩驱动组件和第二伸缩驱动组件，所述第一旋转门和第二旋转门均于搭接台阶的上方通过转轴与防护挡罩连接，且每根转轴均于防护挡罩的外部安装有一驱动齿轮，所述第一伸缩驱动组件和第二伸缩驱动组件均设置在与驱动齿轮同侧对应的防护挡罩上，所述第一伸缩驱动组件和第二伸缩驱动组件的驱动轴上均设置有与驱动齿轮相啮合连接的直线齿条。

进一步的是，所述机台本体的底部设置有清洗槽相连通的排废管道，且所述排废管道上安装有控制阀门。

进一步的是，所述第一旋转门和第二旋转门的上表面均一体成型设置有若干根加强筋。

进一步的是，所述第一旋转门靠近第二旋转门的那侧下部沿其宽度方向设置有L形搭接槽一，所述第二旋转门靠近第一旋转门那侧上部沿其宽度方向设置有L形搭接槽二。

进一步的是，第一伸缩驱动组件和第二伸缩驱动组件均为直线驱动气缸。

进一步的是，所述防护挡罩的相对两侧内部均设置有两个用于转轴穿过的轴承座。

本实用新型实现以下有益效果：

本实用新型通过在机台本体上设置有防护挡罩并通过第一伸缩驱动组件和第二伸缩驱动组件与第一旋转门和第二旋转门配合使用，能对防护挡罩进行密封，这样在不影响晶圆上下料的情况下，还能避免清洗溶剂挥发对操作人员的身体产生影响，具有较高的使用价值。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。

图1为本实用新型公开的整体结构示意图；

图2为本实用新型公开的A处放大结构示意图；

图3为本实用新型公开的俯视结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

实施例