[实用新型]一种兼容输送线及兼容输送系统

说明书

本实用新型公开了一种兼容输送线及兼容输送系统，包括主线输送线、换向输送线和辅助输送线，主线输送线上形成有容置空间，换向输送线设置于容置空间中，且换向输送线被配置为相对于主线输送线的输送面高度可调，换向输送线和主线输送线的输送方向相互垂直；辅助输送线设置于主线输送线的一侧或者两侧，且辅助输送线的输入端与换向输送线的输出端相对接设置，辅助输送线的输送方向与换向输送线的输送方向相一致。可以实现对各种尺寸的多分片至整片的兼容输送。

技术领域

本发明属于硅片输送领域，具体地说，涉及一种兼容输送线及兼容输送系统。

背景技术

随着硅片尺寸的不断丰富多样化以及半片硅片、三分之硅片等多分片的出现，当前对硅片的输送的兼容性要求越来越高，传统的兼容不同尺寸的整片硅片已不能满足现在的兼容需求。

因此，如何实现各种尺寸的多分片至整片的兼容输送，是目前亟需解决的一个技术问题。

实用新型内容

针对各种尺寸的多分片至整片的兼容问题，本实用新型提供了一种兼容输送线及兼容输送系统。

一方面，本实用新型提出了一种兼容输送线，兼容输送线包括主线输送线、换向输送线和辅助输送线，主线输送线上形成有容置空间，换向输送线设置于容置空间中，且换向输送线被配置为相对于主线输送线的输送面高度可调，换向输送线和主线输送线的输送方向相互垂直；辅助输送线设置于主线输送线的一侧或者两侧，且辅助输送线的输入端与换向输送线的输出端相对接设置，辅助输送线的输送方向与换向输送线的输送方向相一致；主线输送线包括并行设置的第一主线输送带和第二主线输送带，第一主线输送带和第二主线输送带之间的间距可调；换向输送线包括至少三条并行设置的换向输送带，至少两条相邻的换向输送带被配置为输送硅片；辅助输送线包括与换向输送带条数相同的辅助输送带，且辅助输送带的输入端与换向输送带的输出端相对接设置，至少两条相邻的辅助输送带被配置为输送硅片。

通过在主线输送线上设置容置空间，将换向输送线设置于容置空间中，在换向输送线的升降作用向下，实现硅片从主线输送线上向辅助输送线上的换向输送；将第一主线输送带和第二主线输送带之间的间距设计成可调，可以实现对各种尺寸的多分片至整片的兼容输送，并行设置至少三条换向输送带和与其数量相同的辅助输送带，可以实现换向时及换向后对各种尺寸的多分片至整片的兼容输送。

可选的，主线输送线还包括第一侧板和第二侧板，第一侧板的第一端和第二侧板的第一端均设置有主动轮；第一侧板的第二端和第二侧板的第二端均设置有从动轮；第一侧板和第二侧板上均开设有至少三个凹槽，每个凹槽边缘设置有至少一个从动轮；第一主线输送带绕设于第一侧板上的主动轮和各个从动轮上，第二主线输送带绕设于第二侧板上的主动轮和各个从动轮上，形成容置空间。

通过在第一侧板和第二侧板上开设至少三个凹槽，为至少三条换向输送带提供安装空间，将换向输送带嵌设于主线输送线之中，更好的实现硅片由主线输送线向辅助输送线的转换；在每个凹槽边缘设置至少一个从动轮，能够对主线输送带进行形态限制，以配合凹槽形成容置空间。

可选的，主线输送线还包括安装支架、驱动机构和滑动机构，第一侧板和第二侧板通过滑动机构滑动连接于安装支架，驱动机构的两个驱动端分别固定连接第一侧板和第二侧板，用于驱动第一侧板和第二侧板相互远离运动或相互靠近运动。

通过驱动机构驱动滑动机构，滑动机构带动与其连接的第一侧板和第二侧板相互远离运动或相互靠近运动，从而实现第一主线输送带和第二主线输送带之间的间距调节，结构简单，调整简洁稳定。

可选的，第一主线输送带和第二主线输送带之间的间距调节范围为80mm～230mm。

将第一主线输送带和第二主线输送带之间的间距调节范围设置在80mm～230mm之间，能够满足目前的主流硅片的兼容需求。

可选的，换向输送线的两端部和中部均设置有吸附机构，吸附机构设置于相邻的换向输送带之间。